13.9nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜研究.pdfVIP

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2016-02-11 发布于安徽
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13.9nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜研究.pdf

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第卷第期强激光与粒子束 , 18 5 Vol.18No.5 年月 , 2006 5 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS Ma 2006 y 文章编号: ( ) 1001-4322 200605-0773-06 马赫贞德干涉仪用软射线分束镜研究* 13.9nm X 张众, 王占山, 王洪昌, 王风丽, 吴文娟, 张树敏, 秦树基, 陈玲燕 (同济大学物理系精密光学工程技术研究所,上海 ) 200092 摘要: 介绍了马赫贞德干涉仪用软射线分束镜的设计、制备与性能检测。基于分束镜反 13.9nm X 射率和透过率乘积最大的评价标准,设计了软射线激光干涉实验用多层膜分束镜。采用磁控溅射 13.9nm X 方法在有效面积为、厚度为的基底上镀制了 / 多层膜,制成了多层膜分束 10mm×10mm 100nm SiN MoSi 3 4 镜。利用射线掠入射衍射的方法测量了 / 多层膜的周期。用扩束激光束进行的投影成像方法 X MoSi He-Ne 定性分析了分束镜的面形精度,利用光学轮廓仪完成了分束镜面形精确测量。利用北京同步辐射装置测量了分束镜反射率和透射率,在处,分束镜反射率和透过率乘积达。使用多层膜分束镜构建了软射 13.9nm 4% X 线马赫贞德干涉仪,并应用于软射线激光干涉实验中,获得了清晰的含有等离子体电子密度 13.9nm X C H 8 8 信息的动态干涉条纹。关键词: 软射线; 分束镜; 马赫贞德干涉仪; / 多层膜 X MoSi