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第八章 扫描电子显微分析 History of SEM Features of SEM 3. 扫描电镜的工作内容 二次电子像：微观形貌像--- 得到物质表面形貌反差的信息。 背散射电子像：组成分布像----可得到不同区域内平均原子序数差别的信息。 3.2 背散射电子像 背散射电子既可以用来显示形貌衬度，也可以用来显示成分衬度。 1. 形貌衬度 用背反射信号进行形貌分析时，其分辨率远比二次电子低。 因为背反射电子时来自一个较大的作用体积。此外，背反射电子能量较高，它们以直线轨迹逸出样品表面，对于背向检测器的样品表面，因检测器无法收集到背反射电子，而掩盖了许多有用的细节。 2. 成分衬度 背散射电子发射系数可表示为 样品中重元素区域在图像上是亮区，而轻元素在图像上是暗区。利用原子序数造成的衬度变化可以对各种合金进行定性分析。 背反射电子信号强度要比二次电子低的多，所以粗糙表面的原子序数衬度往往被形貌衬度所掩盖。 2、背散射电子像 背散射电子是由样品反射出来的入射电子，其主要特点是： 能量很高，有相当部分接近入射电子能量E0，在试样中产生的范围大，像的分辨率低。 背散射电子发射系数η随原子序数增大而增大（图2-75）。 作用体积随入射束能量增加而增大，但发射系数变化不大（图2-75）。 两种图像的对比 3.扫描电镜的主要特征 (3)景深大 　景深是指一个透镜