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MEMS加速度计的原理及运用.docVIP

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  • 2016-02-20 发布于江苏
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MEMS加速度计的原理及运用.doc

    MEMS加速度计的原理及运用 高鹏 黄国胜 2006．12.19 目录 1.MEMS加速度计基本原理分析 1.1 MEMS简介 1.2微加速度计的类型 1.3 差分电容式加速度计的结构模型及其工作原理 1.

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