激光微加工系统中若干关键技术地研究.pdf

u 四细分辨向后分辨率为l m，满足系统对反馈部件分辨率的要求。 4加工的运动轨迹文档的形成。PC计算机可以通过三种方式形成工件加工轨迹 文档并下载至控制器：(1)利用被观察的工件的CCD图象的像素点的位置与工件在x —Y平台的坐标的对应关系形成加工轨迹在CRT上通过键盘(或鼠标)的移动形成 的点阵图作为加工轨迹文档：(3)经各种图像输入设备得到的图像文件经图像处理和 二值化转换形成的点阵图作为加工轨迹文档。 5运动控制的实现。在定位控制中，对步进电机采用闭环和加减速控制，通过 算法可以将误差控制在2口m以内：在轨迹控制中，在速度低于2．5mm／s时(脉冲频 m以内。 率2KHz)，基于光栅尺的闭环系统中，控制误差在2p 6本系统采用的电磁兼容性措施(包括SMR抗干扰措施以及光电隔离等)和在 设计安装过程中的采取的其他可靠性措施保证了控制系统安全、可靠地运行。 Abstract Laser has been useddue