新型数字式原子力显微镜的研制和应用研究.pdf

浙江大学顾_上论文 器的实用化和简易化程度。 3、设计完成山步进电机控制的AFM自动进给机构及其程序的编写。计算机控制步 进电机驱动器输出脉冲信号驱动步进电机转动，从而实现AFM的探针一样品自动逼近， 提高了操作的简便性和系统的自动化程度。 4、研究采用了新型的PCI数据采集卡及其软件的编写。提高了AFM系统与不同计算 机和不同操作系统的兼容性，为AFM的普及奠定了良好的基础。 5.拓展了AFM的扫描控制软件和图像处理软件功能。如样品图像的只维标尺添加 功能、纳米粗糙度线/面测量功能、微位移测量功能等。 关键词:纳米技术、原子力显微镜、数字PID控制、步进电机、进给机构、数字化、图 像处理、AFM应用 浙江大学硕 论文 Abstract Withthedevelopmentofnano-technology,scanningprobemicroscopy(SPM),especially atomicforcemicroscopy(AFM),hasbeenthemostwidelydemandedan