现代光学检测技术.docVIP

非球面检测设计 摘要：根据非球面的参数要求，设计非球面干涉检测中的Offne补偿器。并分析设计方案、光路和误差。最终确定一个可用于工程实际的补偿检验设计方案，其剩余波像差小于/60。 关键词：非球面；补偿器；Zemax Designing for non - spherical detecting Professional: optical engineering Number: 07S021001 Name: WangFeng Abstract: According to index require of non-spherical, design for Offne compensation in non-spherical detecting. And analyse its’ designing project, optical track and error. A possible compensation for the actual test results of the design, less than its remaining wave aberration/60, finally. Keywords: non-spherical; compensation; Zemax 0课程设计要求 本要求完成一非球面干涉检测该方案需包括：干涉检测方法设计；干涉检测光路设计；误差分析非球面的具体参数为：基圆曲率半径R=336.6mm；口径Φ=220mm；非球面的二次项系数k=-0.1156，四次项系数A=-6.326e-11，六次项系数B=1.449e-16。 干涉检测方法设计及分析 非球面的面型方程为： (1.1) 其中c=1/336.6，k=-e2=-0.1156，A=-6.326e-11，B=1.449e-16。 相对孔径D/f’=1.31，但是在实际的检测中，口径应比被检口径大10%，所以实际的相对孔径应为D/f’=1.44。 最大非球面度，代入参数得被检非球面的最大非球面度为0.02。 法线像差ΔR=ze2，代入参数得被检非球面的法线像差为24249mm。 以上几个参数反映的便是非球面检测的难度。可知这一非球面为一椭球面加了四次项和六次项的非球面，相对孔径比较大。 由上述分析，可使用干涉法中的零补偿检验来检测该非球面，这就需要设计补偿系统，由于此非球面的相对孔径大，已经超过1，而且高次项为-16，所以用单个透镜的补偿器应该很难实现检测，用两个透镜的Offner补偿系统。 Offner零补偿器的设计 .1 补偿器的初始结构参数 Offner零补偿器由两个透镜组成：补偿镜和场镜。场镜放在非球面的基圆球心处，补偿镜放置在场镜前面。补偿镜为正透镜，它用来补偿非球面产生的法线象差，场镜将被检非球面镜的口径成像到补偿镜上，可以降低剩余像差。Offner零补偿器的结构图。 图1 非球面和补偿器组成的系统的示意图 决定了补偿镜的口径便可以由几何关系求出补偿镜的焦距，由于检测所用的干涉仪的最大口径Dmax=100mm，所以选取补偿镜的口径Dc=60mm，这样便可以求出补偿镜的焦距f’c。 R=336.6mmtanφ=110/336.6=0.3268 φ=18.1° f’c=Dc/ 2tanφ=91.8mm 场镜可以设为一平板玻璃。 .2 用Zemax进行非球面和补偿器组成的系统的仿真 Zemax中的偶次非球面的表达式为 它与任务要求中的面型方程有所不同，在输入参数时，使c=1/336.6，k=-0.1156，α1=0，α2=-6.326e-11，α3=1.449e-16，α4=0，α5=0，α6=0，α7=0，α8=0。 上面已计算出被检镜的法线像差ΔR=2.4249mm，φ=18.1°，则要求补偿镜应该产生大小相等、符号相反的球差，且补偿镜的像方孔径角为φ=18.1°。补偿镜的口径定为Dc=60mm，由φ=18.1°可知补偿镜到被检非球面镜的基圆曲率中心的距离大约为90mm，然后通过改变半径使补偿镜产生的球差尽量为-2.4249mm，这样补偿镜的初始结构。 图2 补偿镜初始结构图 补偿镜的初始结构参数：r1=60mm，r2=-297mm，d=15mm，口径D=60mm。玻璃材料选择K9玻璃。场镜也选用K9玻璃，其半径可以先设成无穷大，即在待检镜曲率中心处放一块平行平板，其厚度可以先定为10mm，然后通过优化来改变其半径及厚度。 把各个参数输入到Zemax中，利用中的： pickup控制：顺光路和逆光路同一半径等值同号；顺光路和逆光路同一间隔、厚度等值异号； RAID操作数控制：实际入射光线与指定表而的法线的夹角。 经过程序的优化，得到如下结果：表1 非球面和补偿器组成的系统的