精密和超精密加工的机床设备创新.pptVIP

高精度：静态和动态精度，主要部件的材料，轴承，工作台和刀架，微进给（电致伸缩、磁致伸缩，弹性元件等），闭环控制系统 高刚度：受力变形对加工精度影响 高稳定性：热导率低，热膨胀系数小的材料做工作台、床身等基础零件，液体淋浴或空气淋浴控制温度 抗振性：材料，隔离振源，缩短传动链或改用柔性连接 控制性能好：数控 模块化设计 主轴轴承 高精度滚动轴承 液体滑动轴承 空气滑动轴承 陶瓷轴承 磁悬浮轴承 （11）如油腔的有效承载面积为A，则轴承的承载能力为：F= A（p3 - p1） （12）各油腔由同一个液压泵供油，则每个油腔必须串联一个节流器。 （13）没有节流器，各油腔油压相同，互相抵消，就不能平衡外载荷了，这时主轴产生位移，甚至使轴颈与轴承表面接触 （14）油腔压力是液压泵供给的，与轴的转速无关。因此，静压轴承可以在很低的转速下工作。 * 第4节 进给驱动系统 一、数控系统的伺服系统 伺服系统的基本要求 1、位移精度高 2、稳定性好 3、快速响应 4、调速范围宽 5、低速大扭矩 * 第4节 进给驱动系统 二、精密数控系统 对超精密机床，刀具和工件的z向和x向运动以及加工非球曲面的精密回转工作台都是由精密数控系统进行控制的。 精密数控系统通过直流伺服电机或交流伺服电机，双频激光测量系统检测z向和x向的位移反馈给精密数控系统，形成闭环控制系统，达到要求的位移精度。 * 第4节 进给驱动系统