mems可调光减器光学系统的研究.pdf

摘 要 基于DWDM 技术的全光网络，充分利用光纤所具有的巨大传输容量，必将成为 组建下一代高可靠性、超大容量、超高速信息网络的核心技术。光衰减器是一种广 泛应用的重要的光通信无源器件，尤其是在全光网络中有着重要的应用。 研制出一种工作在1550nm 波长范围的5V 驱动MEMS VOA 。它除了具有传统 结构VOA 良好的光学性能外，还具有驱动电压低、光学结构简单、易于实现多信道 集成、性价比高等优点。它主要由双光纤pigtail 、C-lens 透镜和MEMS Mirror 三部 分组成，光学结构非常简单。它的基本工作原理是：静电驱动Mirror 小角度转动， 反射镜改变传输光的方向，高斯光束的传输和模场耦合理论。 本文概述了光衰减器在全光网络中的应用，光衰减器的分类及各种实现方案， 发展历程、发展前景及国内外研究情况，给出了本课题的研究目的和意义。 介绍了MEMS 和MOEMS 技术，基于MEMS 的VOA 的几种实现方案。在现有 技术的基础上，研制出一种新颖的MEMS VOA 方案；改进之处是采用斜8 度C-Lens 。 给出了VOA 的光学结构组成，介绍了它的工作原理。基于现有C-Lens 球透镜结构， 分析了VOA 光学结构要求，得到光学组件的装配要求。 VOA 的光学结构，可等效为两个单模光纤准直器的耦合结构；VOA 利用角向失 配量的改变，实现不同衰减值。利用纤维光学理论，分析了两个单模光纤准直器的 一般耦合情况，进而得到了VOA 的插入损耗、衰减量和WDL 的计算公式；利用矩 阵光学，得到了RL 的计算公式；详细分析讨论了它们的影响因素。给出了PDL 、 TDL 的概念及光通信系统对几个光学参数的要求。 最后给出了VOA 的实验研究情况：测试系统的设计、光路的调试、光学参数的 测试和研究等。实验结果表明该方案是可行的，IL、衰减量、PDL 、WDL 、RL 等均 满足光通信要求，但是TDL 不易控制。如果能改善工艺和提高装配技能，能达到更 高的产品指标。 关键词：全光网络；微机电系统；波分复用；功率均衡；可调光衰减器 I Abstract The networks hierarchy and fundamentals have been running toward high-speed, large-capacity and high-service-quality. Based on DWDM technologies, All Optical Networks make full use of potentially broad bandwidth of optical fiber, and will become the key technologies of information networks. Optical attenuator is an important optical passive component, wide used in optical communication, especially in All Optical Networks. A Variable Optical Attenuator is designed, which is based on 5 voltage driven Micro-electromechanical System; VOA’s working wavelength is 1550nm. Besides the good optical performance possessed by traditional VOA, the driven voltage is low, the optical structure is simple, the in