飞秒激光在微加中的应用研究.pdfVIP

摘 要 飞秒激光微加工具有热影响区小和加工精度高的特点，在激光微加工领域具有潜 在的应用价值。本论文从实验上对飞秒激光在材料微加工中的应用进行了较深入的研 究，研究了激光参数与加工速度和加工精度之间的关系，分别在镀金薄膜和镀银薄模 上进行了刻线和打孔研究，获得了接近衍射极限的加工尺度，并开展了在透明材料上 制备光栅的研究以及烈性材料代用品的加工实验研究。 在加工速度为400 μm/s 、激光的峰值功率密度为2.7 ×1013W/cm2 时，在ZK6 玻璃 和LaF2 玻璃内制备出光栅常数为2.5 μm 和5 μm 的透射式衍射光栅，并在650nm 的 半导体激光照射下获得了光栅的衍射图样。在加工速度为2.5mm/s 、激光的峰值功率密 度为2.7 ×1013W/cm2 时，在ZK6 玻璃和LaF2 玻璃上制备出了孔间距为2.5 μm 的阵列 微孔。 研究了烧蚀率与激光功率密度和脉冲数目的关系，表明烧蚀深度随着激光功率密 度的增加而变大。当激光功率密度保持不变时，烧蚀率随着脉冲数目的增加而减小。 在激光的峰值功率密度为 8.1 ×1012W/cm2 时，在镀金以及镀银薄膜获得的加工尺度接 近衍射极限。在加工速度为 400 μm/s 、激光的峰值功率密度为8.1 ×1012W/cm2 时，在 镀金以及镀银薄膜获得了宽度为2.5 μm 的刻线结构，表明通过控制激光功率密度可以 实现金属高精度的加工。 在加工速度为0.1mm/s 到2mm/s ，利用峰值功率3.3 9 10 ×10 W 到 1.3×10 W 的飞秒 激光在国内开展了烈性材料代用品切割和打孔预先研究，获得了150 μm 的切割宽度， 为今后相关研究打下了良好基础。 关键词：飞秒激光; 微加工; 镀金薄膜; 镀银薄膜; 光栅; 烈性材料代用品 I Abstract Femtosecond laser micromachining has many potential applications due to its advantages, such as limited heat-affected zone and more precision machining. This thesis mainly focuses on the practical applications of femtosecond laser micromachining. The relationship between the characteristics of femtosecond laser parameters, machining speed and the cutting width is discussed. The diffraction-limited cutting on the gold films and silver films is obtained. The fabrication of transmission gratings into the transparent materials and the machining of energetic materials substitute are studied. The fabrication of transmission gratings with the grating constant of 2.5 μm and 5 μm is studied in ZK6 and LaF2 glasses at the machining speed of 400 μm/s by using f