铁电薄膜制备及型铁电存储器研究.pdf

复旦大学博士论文目录 目录 摘要…………………………………………………．I ABSTRACT…………………………………………．．IV 第—章绪论……………………………………………l 1．1引言………………………………………………．．1 1．2铁电薄膜材料概述……………………………………．．2 1．2．1铁电材料的基本特性…………………………………………2 1．2．2铁电薄膜的性能与应用…………．…………………………．．4 1．3铁电薄膜制备方法概述…………………………………．5 1．3．1溶胶一凝胶法(Sol—Gel)…………………………………．…．6 1．3．2磁控溅射法(Magnetronsputtering)……………………………．7 laser 1．3．3脉冲激光沉积法(Pulse deposition)……．…………………．．9 1．4铁电存储器概述………………………………………10 1．4．1铁电存储器介绍………………．………………．…………1l 1．4．2铁电存储器的基本结构…………………．………………．…13 1．4．3新型铁电存储器研究进展．………．………………．…………15 1．5本文的研究重点及主要内容……………………………．．17 参考文献………………………………………………．18 析………………………………………………………26 2．1引言………………………………………………．26 2．2PZT铁电薄膜溶胶一凝胶法制备…………………………．．27 2．2．1 PZT先体溶胶配制……．………………．………．…………27 2．2．2衬底电极……………．………………………．…………28 2．2．3PZT铁电薄膜制备…………………………………………29 2．3金属／铁电薄膜／金属(MFM)电容器结构制备…………………29 2．4PZT铁电薄膜性能分析…………………………………30 2．4．1 PZT铁电薄膜晶体结构性能分析………………………………30 万方数据 复旦大学博士论文目录 2．4．2PZT铁电薄膜电学性能分析…………………………．………32 2．5小结………………………………………………．41 参考文献………………………………………………．43 第三章铁电薄膜界面钝化层特性研究………………………．46 3．1引言………………………………………………．46 3．2脉冲电压测试法………………………………………48 3．3PZT铁电薄膜界面钝化层特性研究…………………………50 3．3．1基于传统电滞回线测试法研究界面钝化层特性……………………51 3．3．2基于脉冲电压测试法研究界面钝化层特性………………………．52 3．3．3铁电薄膜界面钝化层特性研究不足……………………………．57 3．4小结………………………………………………．57 参考文献………………………………………………．59 第四章铁电l盼质／掺铝氧化锌薄膜晶体管研究………………．．6l 4．1引言………………………………………………．61 4．2掺铝氧化锌(AZO)薄膜制备……………………………．．63 4．2．1氧化锌(ZnO)的基本性质……………………………………63 4．2．2掺铝氧化锌(AZO)薄膜制备及性能分析………