mems电容式加速度计检测电路研究.pdfVIP

摘要 摘要 电容式传感器是将被测的非电量变化转换为电容量变化的一类传感器，它广 泛应用在压力、湿度、温度和加速度等测量中。随着微电子机械系统(MEMS)设 计与加工技术的不断进步，已研制出包括微型压力传感器、湿度传感器、加速度 计、化学和生物传感器等产品。传统的用分立元件搭建检测电路的方法将无法适 应微传感器电容不断减小的趋势，而在国内，尚无成熟的电容传感器接口集成电 路投入市场，因此对于MEMS微电容传感器，设计匹配的接口集成电路是十分必 要的。本文分析了国内外微电容传感器处理电路的典型形式，比较了各种微电容 测量电路的特点，针对MEMS差分电容式微加速度计输出电容变化量小的特点， 选择了基于开关电容技术的微小差分电容检测电路。 本文首先分析了模拟集成电路中的基本单元电路，这些基本单元是构成复杂 的电容检测电路的基础；其次，设计了高增益、高电源抑制比、低失调的折叠共 源共栅运放，并把其作为理想运放用于开关电容放大电路中；重点分析了用开关 和电容模拟电阻的方法，这也是检测电路的核心部分；然后对部分模块和整体电 路进行了仿真，证明了其电路原理的正确性和可行性；最后，介绍了CADENCE版 图设计和验证工具，并给出了检测电路的版图设计和验证过程。 关键词：微小差分电容检测技术：MEMS；电容式微传感器；CMOS模拟集成电路； 开关电容技术 Abstract ABSTRACT isdisclosedthatincludesavariable transducer A sensor capaCitive capacitor whichvariesits with inanenViromental are capacitaIlcechanges parameter．They suchaS usedinthe of measuTement widely applicationsparameter pressure，humidity， fast ofthe and and the developmentdesign tempemtur．eaCceleration，etc．Along、Ⅳith MEMS as levelof sortsof MEMS，seVeral capacitiVesensors，such manuf砬turing andbiochemicalsensorshaVebeen sensor，accelerometer pressuresensor’humidity built discrete cannot intouse．TraditionaIcircuit put detecting upby components been metrendof ofmicro merehaVenot to