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mems加速度波器的建模及最优调节器设计

摘 要 地震勘探是探测石油的一种有效办法,地震检波器是地震勘探的主要仪器,其性能 好坏将会影响勘探效果。伴随地震勘探技术的发展,传统检波器已不能满足勘探需求, 研制具有高性能的MEMS加速度检波器很有必要。 通过分析法国Sercel公司的DSU3检波器及其采集系统,结合电路设计知识,完成 了MEMS加速度检波器及采集器的硬件设计,包括信号调理电路、AD转换电路、单片 机主电路、存储器电路以及电源电路的设计:并对设计的检波器进行性能测试,其各项 静态特性基本满足要求。 目前一些检波器尽管在静态特性方面达到了设计要求,却存在超调量大、调节时间 长等问题,动态特性不很理想,因此,加入校正装置来改善其动态特性很有必要。传感 器的动态建模是研究其机理、评价其性能的有效手段,是改善动态特性、实现动态补偿 的重要依据。 基于改善其动态特性的目的,对其进行了线性模型的建立及校正。本文选用 了充分的验证。依据该模型,运用线性二次最优控制LQR进行校正,校正后的系统动 态特性有了明显的改善。 虽然检波器模型可简化成线性的,但其内部有大量非线性元件的存在,不乏非线性 特性,考虑建立检波器的非线性模型来描述其特性。本文依据神经网络的逼近非线性函 数的特性,建立检波器的BP神经网络模型,通过编写BP算法程序、分析学习率及隐 层节点数对网络的影响,加深了对神经网络的理解;并建立检波器的左逆系统模型,完 成非线性校正,校正后的系统可按线性处理。 校正后的检波器特性有了很大的改善,为将来进一步完善其设计工作,改善其性能 提供了理论支持。 关键词:MEMS加速度检波器,ARMA模型,LQR,BP网络模型,逆系统 and oftheMEMS OptimalRegulatorDesign Modeling Accelerometer Geophone and Science KongJie(ControlEngineering) DirectedLi by Shurong Abstract thecoreinstrument Seismic isaneffectivein is exploration waydetectingoil.Geophone the inseismic willaffecttheseismic results.With exploration,which exploration development ofseismic traditional Can’tmeetthe explorationtechnology,thegeophone need.Therefore,it’S to a MEMSacceleration necessary high-performance geophone. develop DSU3detectorand oftheFrenchSercel is First,the acquisitionsystem

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