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MEMS红外光声气 奉传感系统的研究 复且大学博f论文 摘要 采用微电子机械系统 MEMS 技术，研制具有选择性好、灵敏度高、响应迅 速、制备工艺简单和价格低廉的智能化、MEMS化的红外气体微传感系统已经受 到人们的广泛重视，成为当前研究的热点。 本文设计了全MEMS化的红外光声气体传感系统。并系统地开展了红外气体 光声传感系统中MEMS红外调制辐射源、一维光声腔设计和电容式硅基微传声 器等三方面的研究，并采用电调制MEMS红外辐射源研制成功便携式非色散红 外吸收气体传感器。主要的研究内容和成果如下： 试结果表明，MEMS红外辐射源可以产生相当于黑体300～850‘k的红外辐射， 实测辐射功率达到60mW，辐射效率可达16．6％，动态响应时『白J达到12．8ms。 在研究复合支撑薄膜 Si3NdSi02 的电调制MEMS红外辐射源的基础上， 提出了一种基于低应力SiN。支撑薄膜的单膜MEMS红外辐射源的新结构，MEMS 红外辐射源的动态响应时间缩小到10ms之内。 全面系统地研究了发热电极图形结构对红外辐射特性的影响。比较了四种不 同电极图形MEMS红外辐射源的红外辐射特性，得到双螺旋结构的电极设计具有 最优的发热效率。针对双螺旋电极的MEMS红外辐射源，探索了电极线宽与线距 对辐射效率的影响。结果表明，对于所设计的三种不同电极线宽与三种不同电极 间距的M