脉冲电镀的含义.docVIP

?????脉冲电镀的含义 1 概述??????? 脉冲电镀是槽外控制金属电沉积的一个强有力的手段。它利用时间功能通过改变脉冲参数来改善镀层的物理化学性能，从而达到节约贵金属和获得功能性镀层的目的。脉冲电镀属于一种调制电流电镀，它所使用的电流是一个起伏或通断的直流冲击电流，所以，脉冲电镀实质上是一种通断直流电镀。脉冲电流的波形有多种，常见的有方波、三角波、锯齿波、阶梯波（图1）等。但就目前的应用情况来看，典型脉冲电源产生的方波脉冲电流被普遍采用。因此，对脉冲电镀的研究一般都是围绕着方波进行的。 ??????????????? 图1? 常见的几种脉冲波形 ??? a.方波??? b.三角波?? c.锯齿波??? d.阶梯波?????? ??????? 2 调制电流电镀??????? 传统的电镀采用的电流形式一般为直流电流，简称DC。直流电流是一种电流方向不随时间改变的、连续的平稳电流。直流电流常见的波形有单相半波、单相全波、三相半波、三相全波、直流或稳恒电流（图2）等，产生这些波形常用的电源有硅整流器、可控硅整流器、高频开关电源等。从图2中不难看出，直流电流具有连续性或持续性，不随时间的改变而中断或有所变化，因而使用时只有一个参数——电流或电压可供调节。这就使得直流电流在做为槽外控制镀层质量的手段时力量不足。比如直流电流在提高阴极电流密度、抑制副反应的产生、降低镀层中杂质的