武汉大学材料制备薄膜的制备薄膜基础资料.ppt

* 材料 物理 制备 基础 二、薄膜的物理气相沉积 2、脉冲激光沉积法 三、薄膜的化学气相沉积 1、薄膜的蒸镀法 3、薄膜的溅射沉积 一、薄膜基础知识 第四讲 薄膜的制备 一、薄膜基础知识 1、薄膜的特征 1）制作方法：由液相、气相（原子、分子、离子）在衬底上凝结而成。 2）尺度：从单层原子（0.3~4nm)到数10?m厚度的平板状物质。 极超薄膜 薄膜 100pm 10nm 1?m 100? 1nm 100nm 10? 超薄膜 极超薄膜 薄膜 100pm 10nm 1?m 100? 1nm 100nm 10? 超薄膜 半反射用金属膜 单原子层薄膜 光磁纪录膜 超导薄膜 太阳能电池非晶硅薄膜 电极 镜用金属膜 透镜保护膜 工具保护膜 3）薄膜的物性 i）通常的薄膜是多晶的（外延生长单晶）晶粒大小------几nm~几?m与块材相比是极小的； ii)薄膜的电阻比块材大很多； iii）光学特性：反射率随薄膜表面形态显著变化； iv）热传导性较小； v）机械性能：硬度比块材大的很多；