微型icp激发激发性能测试研究.pdfVIP

摘 要 摘 要 光谱仪器的微型化、集成化是其发展的一种趋势。激发源的微型化对光谱仪器的微 型化有重要作用。目前，电感耦合等离子体（ICP ）激发源在原子发射光谱分析仪器中 应用最为广泛，所以关于微型 ICP 激发源的研究对原子发射光谱分析仪器的微型化有重 要影响。本论文主要研究并改进微型 ICP 激发源的激发性能。研究了微型 ICP 激发源的 工作气体选择和背景光谱，理想工作的参数选择和电子激发温度，实验激发甲烷、丁烷 等样品气体并对其激发谱线进行检测分析，做出了定性判断。 本文简要综述了光谱仪器的发展趋势及微型 ICP 激发源的研究现状。对原子发射光 谱的产生原理、元素定性定量分析原理及分析方法等做了简单介绍。采用荷兰爱万提斯 （Avantes ）公司的 AvaSpec-3648-USB2 型微型光纤光谱仪，对氩气、空气、氩气空气 混合气体的激发谱线进行检测，检出 27 条氩原子谱线、22 条氮气分子谱线，即微型ICP 激发源的工作背景谱线。对比得出了氩气比空气更适于作为工作气体的结论。根据激发 氩气谱线强度，实验研究了微型 ICP 激发源的工作参数选择及氩气电子激发温度。理想 工作时，微电路组件平面螺旋线圈匝数为 3 匝，外径为 10 mm。氩气谱线强度随RF 功 率增加而增强，随工作气压增加先增大后减小，较理想 RF 功率为 18~22 W，较理想工 作气压为 50~70 Pa 。氩气电子激发温度随RF 功率和工作气压的升高而升高，计算得出 氩气电子激发温度在 1600~3000 K 之间。 微型 ICP 激发源对甲烷和丁烷样品气体进行激发及谱线检测，分别检出 22 条甲烷 基团发射谱线和 13 条丁烷基团发射谱线。同时对乙醇、乙炔等样品气体进行了类似实 验，未观测到样品气体的相应谱线。 研究结果表明，微型 ICP 激发源可用于甲烷、丁烷的定性分析。随着下一步的研究， 该微型 ICP 激发源有望成为一种新型气体样品激发源而应用于光谱仪器中。 关键词 光谱仪 激发源 微型 激发性能 Ar 甲烷 丁烷 I Abstract Abstract Miniaturization and integration is one development trend for optical spectrum instruments.The miniaturization of its excitation source play an important role in this development. Currently, inductively coupled plasma(ICP) excitation source is most widely used in atomic emission spectrometry instruments, so the research on micro-ICP excitation source have a major impact on the miniaturization of optical spectrum instruments. In this thesis, research and improvement of excitation performance for the excitation source is the main task. Its working gas has been chosen and background spectral lines has been detected. Ideal working parameters and excitation temper