洁净室检测与调试详解.pptVIP

2.相关规范及检测内容 2. 1 国外: FS209 A~E → ISO14644、14698。 2.2 国内: 《洁净厂房设计规范》附录GBJ73-84 → GB50073-2001 　　　　　　　《洁净厂房施工及验收规范》JGJ71-90 2.3检测内容 目前国内并行使用的两规范进行比较(表1-1) 还应注意行业规范的规定(例如表1-2),有矛盾时应按行业规范执行。 GB50073-2001较新, 三项必测和八项选测。见下表： GB50073中三项基本项目 GB50073中八项洽商选测项目 2.4对主要检测项目的分析 2.4.1从洁净室基本原理要素分析三个基本必须测项目 的重要性; a.密闭正压 防止外气侵入。 b.送风净化 初、中、高效过滤，保证进风洁度。 c.换气充足 充足的稀释能力。 2.4.2高效过滤器检漏的重要性: a. 滤漏与泄漏的关系 b.? 泄漏的危害 ① 生物粒子孳生 ② 平行流洁净室可靠性下降。 2.4.3注意事项: 检测状态; 动、静关系；不能以一 （洁净度）概全。 3．各参数主要