金属腐蚀与防护(第四章)详解.pptVIP

fff * fff * fff * fff * fff * fff * fff * fff * fff * fff * fff * fff * * * 溅射原理-辉光放电 （1）辉光放电的特点 1）辉光放电时发光，光的颜色因气体而异 2）辉光放电气压一般是10-1~102Pa 3）辉光放电电流密度mA/cm2，电压为300~5000V 4）过程主要靠阴极上发射电子的г（正离子轰击）过程来维持 5）阴极位降区时维持辉光放电不可缺少的部分，放电主要在这个区域进行。 * * 溅射原理-辉光放电 阴极位降的大小与电压、气体成分、阴极材料有关 1）其他放电条件不变，只改变气压时（P变），阴极位 降Uc不变，但阴极位降区的宽度dc随之改变。 2） dc与P成反比，保持P ·dc 乘积不变， Uc不会改变 当极间距离d固定时，减小气压P，阴极位降区dc增大。 当d=dc时，阴阳极间除阴极位降区外，其他各区都不存在，放电仍能进行。 若气压进一步减小，dc＜ d 时，放电立即熄灭。 （2）阴极位降区 * * 溅射原理-辉光放电 正常辉光放电与异常辉光放电特性对比 特性 正常辉光放电 异常辉光放电 阴极位降高低 和电流无关 和气压无关 与电流成正比 随气压提高而减小 阴极位降区宽度 和电流无关 和气压成反比 随电流增加而减小 随电压增高而增大 电流密度 和电压无关 随气压增加而