光伏资料—单晶制绒工艺培训解析.pptVIP

单晶制绒不良—-手指印 硅片有手指印，在清洗前看不见，但是清洗后却清晰可见； 硅片切割后清洗工艺中的有机物沾污； 硅片表面的碳沾污； 硅片切割时润滑剂的粘污。如果润滑剂过粘，会出现无法有效进入刀口的现象，如润滑剂过稀则冷却效果不好。这些润滑剂在高温下有可能碳化粘附在硅片表面。 硅片经过热碱处理后提出在空气中，时间过长会与空气中的氧反应形成一层氧化层，这层氧化层一旦形成就很难再清洗下去了。因此，在碱清洗后不能在空气中暴露12秒以上。 * 油脂影响 减缓去损伤层的量 无法形成织构化的成核 表面织构化无法形成 * 油脂去除 有机溶剂+超声——有机溶剂溶解有机物质 酸性液体去除法——如RCA工艺：热硫酸煮硅片 表面活性剂 NaOCl热处理——利用O自由基的强腐蚀性 * 五、制绒工序岗位职责 工艺员： 完成工艺负责的点检项目的点检工作（工艺参数、溶液的使用寿命）。 仔细查看前几个班的交接班记录，了解前几个班出现的工艺问题及处理方法，再次出现时可减少处理时间。 负责制绒现场的问题处理（发白、雨点、水痕印、白斑），及时与扩散和PECVD技术员交流，监督生产员工的SPC测试工作。 对于出现的不良品，制定处理方案。 当班过程中，检查生产人员的无尘服穿戴、上下片操作手法以及工艺卫生状况是否符合要求，对于不符合要求的情况及时提出，并督促其整改，定期对员工进行集中培训。 协助助理工程师