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4.1 电容式传感器的工作原理及类型 电子技术中的三大无源元件是电阻、电容和电感。本章介绍的电容式传感器则是利用电容器的原理，将非电量转化为电容量的变化，进而实现由非电量到电量的转换。 电容式传感器发展较早，在1920—1925年期间，就有人利用电容传感器成功地测量了大气压力变化、机械位移及温度变化等。但是在工业应用上发展缓慢，直到20世纪70、80年代，随着对电容式传感器检测原理及结构的深入研究，和对新材料、新工艺和新电路的开发，电容式传感器的一些缺点逐渐得到克服，应用才越来越广泛，特别是随着集成电路技术和计算机技术的发展，可将电容式传感器与微型的二次仪表封装在一起，组成集成电容传感器，能使分布电容等寄生因素的影响大为减小，成为一种很有发展前途的传感器，在非电测量和自动检测中得到广泛的应用。 可用电容传感器来测量位移、压力、厚度、物位、振动、湿度、转速、流量等等。 电容传感器的精度很高，可高达0.01%。有一种250mm量程的电容式位移传感器，精度可达。 4.1.1 工作原理 1 平板电容器 平板电容器由两个平行的金属（塑料外表面镀金属也行）电容极板、电极引线和绝缘介质组成，如图4.1.1所示。通常绝缘介质可选为空气。 平板电容器的电容值为 （4.1.1） 其中的单位（法拉），为真空介电常数，绝缘介质的相对介电常数，为绝缘介质的介电常数，为极板