A06电子束与物质互作用XRF.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * XRF 激发源: 一次X-Ray e束 EPMA 不必导电，液体可 试样： 微区 导电或镀膜 Be4-U92 相对较低，几百ppm；绝对较高，10－13－10－14g 少量到百分之百 可，必须校正 照射区域： 检测范围： 含量限制： 灵敏度： 定量分析： 展谱方式： 大面积 F9－U92 (C6) 相对较高,几-几十ppm；绝对较低。 微量到百分之百 WDS或EDS 分光(展谱)原理 因试样中所有元素的特征X线同时被激出！ 1.WDS：Wave Dispersive Spectroscopy 　　　　　利用波动性? 逐一展谱 2.EDS：Energy Dispersive pectroscopy 利用粒子性h? 同时展谱 两种展谱方式 二.WDS分光 原理：利用Bragg方程 但几何布置有区别。 EPMA与XRF的WDS分光原理相同， 试样 e束 分光晶体 准直光栏 探测器G 例：常用分光晶体LiF 时，接收到强信号。 则： 为 CoK?1.7901 当 分光晶体： 由Bragg方程 ∴对一定的晶体的(hkl), λ有确定范围 如：LiF 就不适用 λ↑ 晶体d↑， 必须配备多