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超精密加工机床精度分析，误差综合建模及检测分析 9线法检测 主要仪器：双频激光干涉仪 检测过程：进给系统的一个运动部件平动，工作台坐标系中选择三条直线，测量出三条直线上各点的位移误差，并且其中一条直线同时测量出两个互相垂直方向的直线度误差，一条直线同时测量出一个方向的直线度误差。利用测得的位移误差和直线度误差，获得21项误差数据。 超精密加工机床精度分析，误差综合建模及检测分析 2. 主轴的径向、轴向跳动，回转误差检测 主要仪器：测微仪 检测过程： 超精密加工机床精度分析，误差综合建模及检测分析 3.不同温度条件机床空间定位误差的测量及分析 主要仪器：温度传感器，双频激光干涉仪 检测过程：机床不同的温度条件下，重复进行机床9线法和主轴 精度测量。 获得与温度相关的14项误差参数 超精密加工机床及其关键零部件动态性能测试理论及方法 4.2动态输出特性（刚度等）测试（张朋） 4.3热态性能测试（刘俊峰） 4.4伺服控制性能测试 单文桃 超精密加工机床整体性能改进方法 5.1运动精度改进（零部件改进（张朋），伺服控制性能改进（胖子），驱动性能改进（电机）（单文桃）等，） 5.2动态输出特性改进（动平衡（刘俊峰），振动控制（张朋），预紧力调节（张朋）） 5.3热态特性改进（热误差补偿，冷却方式）（刘俊峰） 主轴系统伺服控制性能的指标及改进方案 主轴系统伺服控制性能指标 主轴伺服系统性能指标主要包括：定位精度、调速范围、稳速精度、 动态响应和运行稳定性 主轴系统伺服控制性能的改进方案 采用更高精度的编码器 采用更高采样精度和数据位数、速度更快的DSP和各种可编程模块 现代控制及智能控制策略的实用化 超精密加工机床整体性能改进方法 5.3 主轴电机驱动性能的改进方案 软件上的改进 要使主轴系统驱动性能有更大的提升，关键是要克服非线性、强耦 合和不确定性对电机驱动控制所带来的不利影响。 硬件上的改进 通用化（采用通用型驱动器可以在不改变硬件配置的前提下，方便设置不同控制策略，并且可以驱动不同类型的电机） 智能化（性能优良的驱动器具备负载惯量测定和自动增益调整功能，甚至可以自动辨识电机参数，自动测定编码器零位） 超精密加工机床整体性能改进方法 materials * 重庆大学 Chongqing University 2.4 超精密加工技术 超精密加工技术 超精密加工机床国内外研究发展概况 超精密切削过程机理研究 超精密加工机床的关键零部件及主要问题 超精密加工机床整体精度分析和误差综合建模 超精密加工机床及其关键零部件动态性能测试理论及方法 超精密加工机床整体性能改进方法 超精密加工机床及其关键零部件多学科仿真方法 超精密加工机床国内外研究发展概况 超精密加工技术在国际上处于领先地位的国家有美国、英国和日本。这三个国家的超精密加工技术不仅总体成套水平高，而且商品化的程度也非常高。美国LLNL国家实验室 于1984年研究开发的大型光学金刚石超精密车床LODTM，加工精度为25nm，表面粗糙度为7.6nm，机床最大加工尺寸Ф 1625mm×500mm。机床底座为花岗岩。机床主轴采用油静压轴承。机床X轴导轨采用液体静压导轨，Z轴为空气静压导轨。7个激光器在线测量X、Z轴的位移、歪斜和倾斜。隔振采用4个空气隔振垫。护栏中的空气精确控制在20 ±0.005范围。 超精密加工机床国内外研究发展概况 使用LODTM机床加工的各种光学镜面 超精密加工机床国内外研究发展概况 a.Kern micro; b.Sodick AZ150; c. Fraunhofer IPT Minimill d.Makino Hyper2J; e. Kuglar MicroMasterMM2; f. Fanuc ROBOnano; g. Precitech freeform 700 Ultra; h. Moore Nanotech 350FG 超精密加工机床国内外研究发展概况 北京机床所研制成功了 CKG300亚微米数控车床,其加工精度、表面粗糙度均优于1μm 。哈尔滨工业大学精密工程研究所的超精密KDP晶体加工机床 ,工件最大尺寸 410mm × 410mm,铣刀直径Φ600mm，加工精度0.1 μm，表面粗糙度Ra0.042 μm 。国防科技大学研制的非球面加工机床可加工最大口径 650mm的光学玻璃 ,其加工零件表面粗糙度为 2～5nm。中国航空工业第一集团公司 303所研制 Nanosys 300机床 ,其加工零件精度可达0.05～0.1um。