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理化检验 - 物理分册 　　　　P TCA ( PA R T :A P H YS. T EST . ) 　　　　2007 年 第 43 卷 10 试验技术与方法 电子背散射衍射分析技术的应用 李 　凡 , 黄海波 , 王 　雷 (东南大学 分析测试中心 , 南京 2 10096) 摘 　要 : 简要介绍了电子背散射衍射分析技术的基本原理和特点 ,并通过用电子背散射衍射分 ( ) 析方法对几种晶体材料 包括试样的制备 在物相鉴定 、晶体取向、晶粒尺寸及晶界分布 、材料失效 机理等方面的实例分析表明 ,该技术是一种揭示晶体材料微观结构的很好的方法 。 关键词 : 电子背散射衍射 ; 晶体材料 ; 应用实例 中图分类号 : T G115 . 23 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 100 140 12 (2007) A P PL ICA TION O F EL EC TRON BA C KSCA T T ER D IF FRA C TION AN AL YSIS T EC HN IQU E L I Fan , HUANG Haibo , WANG Lei ( The Cent er of Analy si s and Testing , Sout hea st U niver sit y , Nanj ing 2 10096 , China) Abstract : The mechani sm and t he ba sic p rinciple of elect ron back scatt er diff raction ( EB SD) were int roduced briefly . The several cryst al mat erial s were analyzed by u se EB SD met ho d in sub st ance app rai se , cryst al orient ation , grain size , cryst al boundry di st ribution and mat erial failure mechani sm . The result s showed t hat EB SD t echnique wa s a goo d met hod to det ect t he micro scopic st ruct ure of cryst al mat erial s. Key words : Elect ron back scatt er diff raction ; Cryst alline mat erial s ; App lication examples 　　20 世纪 90 年代以来 , 电子背散射衍射分析技 当入射电子束在晶体样品中发生散射时 ,在晶体内 术取得了较大的发展并已在晶体的微观结构分析及 向空间所有方向发射散射电子波 。如果这些散射电 [ 1 - 15 ] ( ) 表征中广泛应用 。与传统的晶体衍射分析技 子波和晶体中某一晶面 hk l 之间正好符合布拉格 ( λ θ) 术相比, 电子背散射衍射有着独特的优势 :在保留扫