电子能谱分析课件第一部分精要.ppt

光电子能谱和俄歇电 子能谱分析 ---第一部分 电子能谱 根据激发源的不同，电子能谱又分为: X射线光电子能谱(简称 XPS) (X-Ray Photoelectron Spectrometer) 紫外光电子能谱(简称 UPS) (Ultraviolet Photoelectron Spectrometer) 俄歇电子能谱(简称 AES) (Auger Electron Spectrometer) （二）结合能参照基准 在用XPS测定内层电子结合能与理论计算结果进行比较时，必须有一共同的结合能参照基准。 ①对于孤立原子，轨道结合能的定义为把一个电子从轨道移到核势场以外所需的能量，即以“自由电子能级”为基准的。在XPS中称这一基准为“真空能级”，它同理论计算的参照基准是一致的。即结合能等于自由电子的真空能级与电子所在能级的能量差。 ②对于气态XPS，测定的结合能与计算的结合能是一致，因此，可以直接比较。 ③对于导电固体样品，测定的结合能则是以Fermi能级为基准的，因此，同计算结果对比时，应用公式进行换算。 对于非导电样品，参考能级的确定是比困难的。 三、X射线光电子能谱(XPS) （一） 引言 X射线光电子能谱是重要的表面分析技