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纳米精度计量光传感器的理论研究
摘 要
计量技术为制造业的基础，其发展速度明显滞后，其中高精度的长度检测方
法是制造领域的瓶颈问题之一。纳米测量技术与仪器是纳米科学和技术的一个重
要分支，纳米科学和技术的迅速发展不仅需要测量精度高，抗干扰能力强，而且
还需要测量范围宽。本文以大位移纳米测量精度的计量光栅测量系统为研究对
象，研究具有纳米测量精度的计量光栅传感器的理论和关键技术。
本文的主要研究内容包括：以计量光栅为基础，研究二次莫尔条纹的形成机
理，分析基于二次莫尔条纹信号以得到纳米级测量精度的光栅传感器的测量原
理，并进行仿真计算，其测量分辨力可达到5．40X1010m，通过电子细分，测量
精度可达到纳米级；对指示光栅和标尺光栅不平行时对二次莫尔条纹信号质量的
影响进行了理论分析和仿真计算；研究了光栅传感器的光学系统及其光学系统元
件。
关键词：纳米测量；光栅传感器；二次莫尔条纹；光学系统；误差
ABSTRACT
isthefoundationfor
Measuringtechnology
ofthis islimited factors．suchasthe
technologybymany high—precision
development
measurementmethodisoueoftheboRic-neck
length
is
measurementisoneofthe branchand basisofnano—science．It
important key
to anew methodwith
necessarydevelop metrological high—precision,hi【gh
anti—interfereandwidemeasurement intruducesthe
ability range．Thispaper
whichhas and
measurement
metrological displacement
grating system large
measurement and of
nanoscale basic
accuracy．The keytechnology
principle
sensorwhichhas isstudied．
nano-measurement
metro-grating precision
to
Ourresearchinterestarefocusedonthe order
followingtopics：Firstly,in
withllano
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