无机薄膜光栅的制备及其衍射特性研究-中国科学杂志社.pdfVIP

中国科学 E 辑 : 技术科学 2008 年 第 38 卷 第 11 期 : 1930 ~ 1935 SCIENCE IN CHINA PRESS 无机薄膜光栅的制备及其衍射特性研究 * 王哲哲 , 赵高扬, 马介源, 彭海军, 李美莲 西安理工大学材料科学与工程学院, 西安 710048 * E-mail: zhwang1982@ 收稿日期: 2007-10-23; 接受日期: 2007-11-7 国家自然科学基金项目(批准号:和西安应用材料创新基金项目(批准号: XA-AM-200611)资助 摘要 有效地结合激光干涉法和化学刻蚀法, 提出一种制备高密度、 关键词 高衍射效率无机光栅的新方法. 采用溶胶-凝胶法和化学修饰法合成具 溶胶-凝胶 有紫外感光性的含锆溶胶, 并在(100)硅基板上制备含锆感光性凝胶薄 高密度光栅 膜. 利用该薄膜, 结合激光干涉技术和热处理工艺制备出周期为1 μm 的 激光干涉