微电子化学第三章解读.ppt

发菌量 4） 有口罩发菌量︰无口罩发菌量 (1︰7)～(1︰14) 分子筛干燥剂 分子筛（沸石）是结晶态硅铝酸盐 (1)概况 其晶体结构中有规整而均匀的孔道，孔径为分子大小的数量级。它只允许直径比孔径小的分子进入，因此能将混合物中的分子按大小加以筛分，故称分子筛。 分子筛有天然沸石和合成沸石两种。 ①天然沸石大部分由火山凝灰岩和凝灰质沉积岩在海相或湖相环境中发 ②因天然沸石受资源限制，从20世纪50年代开始，大量采用合成沸石 (2)类型 ①按表面积大小分为A型、X型、Y型 ②A型按孔径大小分为3A型、4A型、5A型分子筛。 4A型即A类，孔径4?； 含Na+的A型分子筛记作Na-A, 若其中Na+被K+置换,孔径约为3?，即为3A型分子筛； 如Na-A中有1/3以上的Na+被Ca2+置换，孔径约为5?，即为5A型分子筛。 ③X型又分为10X、13X两种，Y型又分为10Y、13Y。 每一类型分子筛按其阳离子不同，其孔径 和性质也有所不同，常用的分子筛的型号的孔径列举如下： (3)分子筛性能 1）无毒、无腐蚀性，不溶于水，PH值范围4~12，耐酸碱能力差，遇水潮解 2）高表面积（1克沸石表面积约相当于2个篮球场约900 m2）和高吸附容量； 3）晶体，孔径大小均匀、固定； 4）气体的相对温度低时，分子筛具有良好吸湿性，本身不被水破坏； 5）具