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MEMS陀螺仪传感器 MEMS陀螺仪传感器 07测控一班 07测控一班 第二小组 （11·····20） 第二小组 （11·····20） 许盼兮 许盼兮 MEMS简介 MEMS简介 MEMS是微机电系统（Micro-Electro- MEMS是微机电系统（Micro-Electro- Mechanical Systems）的英文缩写。 Mechanical Systems）的英文缩写。 MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机 MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机