薄膜的形成与生长详解.pptVIP

第三章　薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 层岛模式 最开始的一两个原子层的层状生长之后，生长模式从层状模式 转化为岛状模式，这种转变机制比较复杂 层岛模式是上述两种模式的中间复合。在这种模式中，在形成一层或更多层以后，随后的层状生长变得不利，而岛开始形成。二维生长到三维生长的转变，人们还未认识清楚其缘由，但任何干扰层状生长结合能特性韵单调减小因素都可能是出现层岛生长模式的原因。例如，由于膜与基片的点阵失配，应变能在生长膜中累积起来，、当应变能被释放时，在沉积物与中间层形成界面处的高能可能激发岛的形成。 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜的形成与生长 薄膜生长过程概述 在Ag原子到达衬底表面的最初阶段，Ag在衬底上先是形成了一些均匀、细小而且可以运动的原子团－“岛”。这些像液珠一样的小岛不断地接受新的沉积原子，并与其他的小岛合并而逐渐长大，而岛的数目则很快地达到饱和。在小岛合并过程进行的同时，空出来的衬底表面上又会形成