微电铸技术及其工艺优化进展研究_李冠男.pdfVIP

第 6 期 微细加工技术 №6 2006 年 12 月 M ICROFABR ICA TION TECHNOL O GY Dec ,2006 文章编号 :100382 13 (2006) 06000 105 微电铸技术及其工艺优化进展研究 1 1 1 2 2 1 李冠男 ,黄成军 ,罗 　磊 ,郭 　 ,于中尧 ,于 　军 ( 1 华中科技大学 电子科学与技术系 ,武汉 430074 ; 2 生物芯片北京国家工程研究中心 ,北京 102206) 摘要 : ( ) ( ) 随着微机电系统 M EM S 和微影微电铸微模铸 L I GA 两种技术的发展 ,微电铸工艺正逐渐 展现着其独特的魅力和发展潜力 。然而 ,现有工艺