扩散炉的安装调整讲解.ppt

扩散炉的安装调整（4） 扩散炉的背灰区服务面 扩散炉背面的尾气箱。为保证顶部抽风排除微量漏出的尾气的作用，平时尾气箱门必须关闭。 调整碳化硅桨的位置 调整碳化硅桨的仰角和左右水平 调整不锈钢门的位置 碳化硅桨和不锈钢炉门位置的调整 碳化硅桨和不锈钢炉门位置的调整 不锈钢收集槽 舌头要保证滴下的偏磷酸全被收集到不锈钢和石英收集槽中 偏磷酸的收集 我们的扩散炉是以密封炉盖的加压工作方式保证炉盖的密封是保证扩散工艺重复性的基础。保证尾管接口和炉盖的密封也是为安全和设备寿命所必需的。 扩散炉的尾气管是我们检查炉管密封的地方当炉盖密封不好时，尾气从炉口泄露而出，从尾气管流出的尾气减少，因而尾气管的温度下降。因此，在每班应检查每个炉子尾气管的温度，及时发现漏气，及时调整炉门密封。 用手触摸尾管来感知尾管的温度。注意不要烫伤手指。 石英炉盖与石英炉口的密封 炉盖与炉口的密封可用一个橡皮圈实现。但橡皮圈不能承受超过一千度的高温，而且橡皮圈也不能保证炉口密封的效果。 然而，实践中发现，没有橡皮圈也可以达到密封的效果。但要保证炉口没有碎硅片或磷源的干块等物体。 炉管口的清洁维持 炉管口要保持清洁。要经常观察炉口的状态，用手触摸橡皮圈以发现缺口或硬块，损坏的橡皮圈要及时更换，完好的橡皮圈要经常清理。 清理时炉温要降到200-300度，硬块、碎硅片用石英片刮除。再用超净布打湿去离子水擦干净。同时擦净橡皮圈和炉门其它部分的干源块。 （利用10天一次的半天设备维修时间，降温2小时，清洗1小时，升温后以正常扩散条件作一次饱和，在进行扩散）。 炉门的压力密封机构 炉门的密封机构必须将压力均匀地、适度地施加在炉门上，才能保证炉门的密封。 3个压脚 4个小弹簧 压脚长短调节 压脚压力调节 压力固定螺母 4个炉门小弹簧的调整 原来设计的 Teflon 炉门密封环的力量不够，在受热下还会软化、变形。因此才改进设计，采用了4个小弹簧来加强 Teflon 密封环。 不锈钢压力环必须接触炉门 弹簧螺杆的固定螺母 小弹簧的固定螺杆 4个炉门小弹簧的调整 小弹簧的螺杆要在炉门关闭时与碳化硅板分离1到2毫米 小弹簧的螺杆要用两个螺母相互咬死 炉门安装的检查 炉门的密封机构安装完毕后，或发现冷尾管、对炉门调整之后，要对炉门的安装作如下的检查。 3个压脚的压力要合适、压力要均匀。 大压环要全面接触石英门。 压脚要接触石英门 两个螺母相互咬紧，前一个螺母接触碳化硅盘。 固定螺母要拧紧 炉门向前倾斜约2毫米 炉门安装的检查 对上一照片的补充： 压脚的位置调整后要用螺母固定 这一机构要朝向观察窗口 松开此螺丝后可转动压角杆的方向 试车前要将炉门向外微调 5 毫米 松开此螺丝可调节炉门定位传感器的位置 以确保炉门不会对炉管施加过大的压力 二级炉门限位接触传感器，一般不需调节 炉门密封的观察窗口 炉口密封的观察窗口在超净间外面的服务灰区内。打开炉子的面板，在打开排毒箱侧面的密封面板。 炉门压力密封机构的调节 炉门的最终调节至关重要，需要两人操作。一人将炉门来回移动，开炉门10秒钟，再关好炉门，往复十次。另一人在灰区观察，并调整定位传感器位置来达到以下要求。 观察此压脚（X3）是否压住炉门 观察此压环是否全部压住炉门 观察此定位螺丝(X3)是否后退约3毫米 观察此定位螺丝（X4)是否后退约1-2毫米 必要时调整机械限位块的位置 机械限位块要留有一、两毫米的空隙 最后再检查一下开炉行程传感器的位置 开炉行程传感器要保证行走臂不会撞到轨道的尽头。 磷源安装的检查 对上一照片的补充： 粗管 细管 要观察源瓶的进气管位置是否正确 以实验室为例，为保证工作正常和安全，工作气体压力定为两个大气压左右 车间里的气体压力要略高一些。 又以实验室为例，为保证源瓶的安全，源瓶气体压力定为一个大气压(15psi)。 车间里的气体安装也应考虑同样的设置。 为保证炉管清洁，在扩散炉不工作时要通保护氮气。 在炉管清洗安装及使用过程中需要注意的事项 1。炉体的清洁 我发现大部分北京扩散炉的排毒箱内都有大量的粉尘，可能是隔热封装材料的粉末，还有金属切割的碎屑。这些都应当在安装炉管前后清理干净。也可在降温维修时将其清理干净。 偏磷酸石英收集槽和不锈钢收集槽必须经常打扫干净，防止偏磷酸将排毒箱腐蚀坏。收集偏磷酸的石英槽可在每十天一次的半天设备维护时，将炉温下降到200-300度后，用 Teflon 管将石英槽内的偏磷酸以虹吸法吸出。 2。炉管、石英舟的清洗 炉管、石英舟、石英舟托，石英均流板等石英器具，要在稀释的氢氟酸（HF:H20=1:25)中浸泡 2小时以上。 再用去离子水冲洗干净。 然后。用氮气吹干。不能有残留的水。 由于石英器具是直接进入扩散炉内或与进入炉内器具相接触的，因而必须非常干净。 在炉管清洗安装及使