纯水应用中五种脱气装置比较.pdfVIP

维普资讯 第4卷，第2期 电 子 与 封 装 总 笫 I6期 VOl 4．N(J．2 ELECTRONICS PAlCKAGING 2004年 3月 支 撑 技 术 纯水应用中五种脱气装置的比较 刘新庆 (阿斯利康制药有限公司，江苏 无锡 214028) 摘 要： 在 7K*,l造过程中，以前常常使用鼓风脱气和真空脱气装置，近年来，膜脱气工艺发展 非常迅猛，在高纯水领域已经开始有了广泛应用，同时也有不少纯水工艺采用了树脂催化法除氧。 本文分别对五种不同的脱气装置作了介绍和对比。 关键词 ：脱气器；脱气塔 ；纯水；溶解氧；树脂 中图分类号：TN305 文献标识码：A TheComparisonofFiveKindsofDegasifiersinPurewaterApplication LiuXinqinq (AstrazenecapharmaceuticalCo．，Ltd．WuxiJiangsu．214028) Abstract： Theforceddraftdecarbonatorandthevacuum degasificationcolumnareoftenusedtodeaeratein purewaterprocessbefore．Butthemembranedeaerationprocessdevelopsveryfastrecently．Andithasbeen usedinultrapurewaterraea．However，catalystcolumnisusedtodeoxygeninmanypurewaterprocess．Th e introductionnadcomparisionaboutthem raediscussedhere’in． Keywords： Deaeration；Degasifier；Purewater；DissolvedOxygen；Resin； 产生氯仿、三卤甲烷 (THM)等卤代烃。有些气体 1 引言 的存在对集成电路的生产有着严重的影响，有些气 体影响着其他后续设备的运行周期和产品水质。从 在当今信息化时代，微电子的产品周期每两年 而 ，形形色色的脱气工艺产生了。 翻一番，对高纯水的要求也变得越来越高 (见表 1)， 在锅炉、电厂等行业，溶解氧的存在是造成热 从而促进了纯水处理技术的一次又一次的变革，水 力设备 (如汽轮机等)腐蚀的主要原因，导致锅炉 处理工艺越来越先进 ，脱气装置也不例外。 在运行或停用期间的氧腐蚀，所以国家对锅炉的补 自然界中的水除了含有盐分、胶体、颗粒、微 给水溶解氧也作出了相应规定，比如 ：锅炉额定蒸 生物外，还溶解有很多气体，比如氧气，二氧化碳、 发量大于6m ／h的锅炉均要除氧，额定蒸发量小于 氮气、甲烷等 ，由于一般水厂采用氯气消毒 ，从而 6m ／h的锅炉应尽量除氧，而且 16MPa以下的锅炉给 收稿 日期：2003-05—12 维普资讯 第 2期 刘新庆：纯水应用 中扛冲脱气装置 的比较 水溶解氧含量必须小于100ppb，1．6-2．5MPa的锅炉和