太赫兹微测辐射热计的设计、仿真与制备.pdfVIP

2014 年 第 59 卷 第 8 期：727 ~ 732 《中国科学》杂志社 论 文 SCIENCE CHINA PRESS 太赫兹微测辐射热计的设计、仿真与制备 * 苟君, 蒋亚东, 王军, 喻磊, 黎威志 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 成都 610054 * 联系人, E-mail: jiangyd@ 2013-05-14 收稿, 2013-08-02 接受 国家自然科学基金资助 摘要 为提高太赫兹(THz)微测辐射热计的探测灵敏度, 优化设计探测单元的微桥结构: 增加10 关键词 nm 的镍铬(NiCr)金属薄膜用作THz 辐射吸收层并增大探测单元面积. 采用IntelliSuite 软件建立 太赫兹微测 不同单元尺寸、不同桥腿宽度的微桥结构的有限元分析模型, 进行力学与热学仿真. 力学仿真表 辐射热计 明, 增大探测单元面积, 形变明显增加; 增大桥腿宽度可以小幅改善形变. 热学仿真表明, 通过 力学仿真 热学仿真 增大探测单元面积或减小桥腿宽度可以提升桥面温升. 制备出基于不同探测单元结构的THz 微 制备 测辐射热计焦平面阵列, 探测单元的实际形变情况与仿真结果基本相符. 单元面积 75 m× 75 m, 桥腿宽度1.3 m 的微桥结构具有较好的力学与热学性能, 适合用作THz 微测辐射热计 的探测单元结构. 太赫兹(THz)波是指频率介于 0.1~10 THz(波长 测辐射热计性能的重要评价指标. 力学性能决定器 3 mm~30 m) 的电磁辐射. 近年来超快激光技术和半 件的稳定性, 应力导致器件结构发生相应的形变, 应 导体材料科学与技术的迅速发展, 为太赫兹脉冲的 力的最大值处往往是最容易引起器件失效的地方. 产生提供了稳定、可靠的激发光源, 促进了太赫兹辐 热学性能影响敏感薄膜的温升大小, 决定了信号输 [1~3] [4] 射在光谱学 和成像技术 方面的应用. 由于 THz 出的强弱, 影响微测辐射热计的探测灵敏度. 本文针 辐射具有瞬态性、宽带性、低能性、穿透性等独特优 对传统微测辐射热计在 THz 波段的低吸收与低响应, 点, 使得THz 成像技术在安全检测、医学诊断、环境 优化设计不同的探测单元微桥结构, 利用 IntelliSuite 监测、植物结构研究、地质勘查、考古及文物鉴定等 软件分别建立不同单元尺寸、不同桥腿宽度的微桥结 [5~8] 领域有着巨大的应用价值 . 传统的红外微测辐射 构的有限元分析模型, 进行力学与热学仿真与分析, 热计作为当今非制冷热成像的主流技术, 在 THz 辐 研究其应力、形变与温升情况. 同时, 制备出基于不 [9~11] 射源的照射下可以用于 THz 波段的探测与成像 . 同探测单元结构的 THz 微测辐射热计焦平面阵列, 但由于THz 辐射的波长较长, 限于器件尺寸, 无法制 验证仿