微_纳尺度高功率电子器件产热与传热特性.pdf

2012 年 第 57 卷 第 33 期：3195 ~ 3204 《中国科学》杂志社 论 文 SCIENCE CHINA PRESS 微/纳尺度高功率电子器件产热与传热特性 * 王博, 宣益民, 李强 南京理工大学能源与动力工程学院, 南京 210094 * 联系人, E-mail: ymxuan@ 2012-08-13 收稿, 2012-10-18 接受 国家自然科学基金资助 摘要 传统的宏观传热理论难以准确表征几何结构尺度小于或接近声子平均自由程 关键词 的高功率电子器件的产热与传热过程, 此时器件中能量激发的时间尺度与声子的特 高功率场效应晶体管 征时间尺度相当, 甚至小于声子的特征时间尺度, 不能满足传统传热理论的假设. 本 多尺度格子-Boltzmann 文针对微/ 纳尺度场效应晶体管的工作过程, 建立描述其内部产热及传热特性的多尺 方法 电子声子耦合 度格子-Boltzmann 介观模型, 通过在模型中引入源项去描述器件内部电子和声子的 相互作用, 分析计算不同工作状态下晶体管单元的温度分布特征, 研究热管理方式对 晶体管温度分布的影响, 从微/ 纳尺度揭示了场效应晶体管的产热机理及传热特性, 为热设计工作者提供一定的理论依据. [4,5] 场效应晶体管(field effect transistor, FET)是大规 典傅里叶理论)研究其传热特性会造成较大误差 . 模集成电路的核心器件, 在雷达、通信卫星中继器及 近年来许多学者提出了一些计算模型, 主要包括: 波 各种无线装置中广泛使用, 近年来其发展趋势呈现 尔兹曼输运方程模型(botzmann transport equation, 出特征尺寸逐步减小与功率大幅提高的特点[1,2], 导 BTE)[6~9] 、分子动力学模型[10,11] 、弹道-扩散模型[12,13] 2 [7] 致其局部热流密度极具上升(达到 100 W/cm 以上). 以及傅里叶模型 等. 其中格子-Boltzmann 方法是 如果未采取有效的冷却措施, 将导致器件内部温度 BTE 的一种特殊离散形式, 以精度高、物理意义明 [14,15] 迅速增高, 温度梯度增大, 甚至达到或超过其正常工 确、边界易处理等优点被广泛研究与应用 . 作温度, 加速肖特基栅极电极、源级及漏极电极的劣 本文的主要目的是运用多尺度格子-Botzmann 介 化, 大大降低电子元器件的使用寿命, 甚至无法正常 观方法, 研究高热流密度条件下微/纳尺度晶体管内 工作[1,2]. 因此, 器件热管理技术对于保障场效应晶 产热和传热特性, 分析研究不同工作状态晶体管内 体管等高功率电子器件的正常工作至关重要. 研究 部的温度分布特征, 探究器件热管理方式对晶体管 电子器件的产热与传热特性, 掌握其不同工作状态 温度分布的影响. 的温度分布特