Ch.02MEMS器件-传感器.pdf

MEMS技术 唐军 0351-3920397 tangjun@ 第二章 MEMS器件 微传感器 微执行器 传感器的工作原理、结构、主要 参数、检测电路及其典型应用 电容传感器 压电传感器 电感传感器 其他传感器 电阻应变传感器 光电传感器 传感器原理 多传感器融合 压阻式传感器 与应用 检测电路 温度传感器 基础知识 现代检测系统 热电式传感器 定义、分类 发展趋势 选用原则 一般特性 传感器原理 检测与应用技术 传感器的定义 国家标准（GB7665-87 ）中传感器（Transducer/Sensor ）的定义： 能够感受规定的被测量并按照一定规律转换成 可用输出信号的器件或装置。 ①传感器是测量装置，能完成检测任务； ②输入量是某一被测量，可能是物理量，也可能是化学 量、生物量等； V 、I、F、P ③输出量是某种物理量，便于传输、转换、处理、显示 等，可以是气、光、电物理量，主要是电物理量； ④输出输入有对应关系，且应有一定的精确程度。 传感器名称：发送器、传送器、变送器、检测器、探头 传感器功用：一感二传,即感受被测信息,并传送出去。 传感器的组成 被测量 电量 敏感元件 转换元件 基本转换电路 辅助电源 敏感元件是直接感受被测量，并输出与被测量成确定 关系的某一物理量的元件。 转换元件：敏感元件的输出就是它的输入，它把输入 转换成电路参量。 基本转换电路：上述电路参数接入基本转换电路（简 称转换电路），便可转换成电量输出。 实际上，有些传感器很简单，有些则较复杂，大多数 是开环系统，也有些是带反馈的闭环系统。 最简单的传感器由一个敏感元件(兼转换元件)组成，它 感受被测量时直接输出电量，如热电偶。有些传感器由 敏感元件和转换元件组成，没有转换电路，如压电式加 速度传感器，其中质量块m是敏感元件，压电片 （块） 是转换元件。有些传感器，转换元件不只一个，要经过 若干次转换。 由于空间的限制或者其他原因,转换电路常装入电箱中。 然而，因为不少传感器要在通过转换电路后才能输出电 信号，从而决定了转换电路是传感器的组成环节之一。 电阻 式远 感应式 传压