MEMS技术在THz无源器件中应用.pdfVIP

2011 年第30 卷第7 期 传感器与微系统(Transducer and Microsystem Technologies) 5 MEMS 技术在THz 无源器件中的应用* 1 2 2 1 1 赵兴海 ，鲍景富 ，杜亦佳 ，高 杨 ，郑英彬 (1． 中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳621900 ; 2 ． 电子科技大学，四川成都611731) 摘 要: 太赫兹技术将在未来高精度频谱探测技术、高分辨率成像和高性能通讯等应用前景良好。太赫 兹技术处于电子学与光子学领域的交叉领域，太赫兹器件的尺寸在数十微米到毫米量级，传统的机械加工 技术很难达到加工精度要求，甚至无法加工。MEMS 技术在太赫兹器件的加工方面具有巨大的优势。总 结了目前采用DRIE ，LIGA 等工艺加工太赫兹器件的研究现状，包括太赫兹传输波导器件、太赫兹传输线 器件、慢波结构和特种复合结构的加工。分析了MEMS 加工工艺的优缺点和在太赫兹器件加工中的应用 前景。 关键词: 太赫兹器件; 微机电系统;LIGA ; 深反应离子刻蚀 — — — 中图分类号:O 451 ;TN 432 文献标识码:A 文章编号:1000 9787 (2011)07 0005 05 * Application of MEMS technology in passive THz-devices ZHAO Xing-hai1 ，BAO Jing-fu2 ，DU Yi-jia2 ，GAO Yang1 ，ZHENG Ying-bin1 (1． Institute of Electronic Engineering ，China Academy of Engineering Physics ，Mianyang 621900 ，China ; 2． University of Electronic Science and Technology of China ，Chengdu 611731 ，China) Abstract :The primary applications for terahertz (THz )technology have so far been high precision spectrum detection technology ，superresolution imaging ，and high performance communication et al． THz region locates on the border between far-IR and submillimeter which is still rather blurry． The dimension of THz devices is from several ten micrometers to several millimeters which are difficult or hard to fabricate by the traditional machining technology． MEMS technology has many advantages to fabricate these devices． An overvi