投影光的刻离轴照明用衍射光学元件设计.pdf

第 16卷 第 11期 光学 精密工程 VoI．16 No．11 2008年 11月 OpticsandPrecisionEngineering Nov．2008 文章编号 1004—924X(2008)1卜2081—06 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计 张 巍，巩 岩 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春 130033) 摘要：离轴照明作为一种重要的分辨率增强技术被广泛地应用于投影光刻系统。使用衍射光学元件 (DOE)作为光刻照 明系统的光束整形器件，能够在保持较高照明效率的基础上精确控制离轴照明光束的形状及光强分布。本文利用基于 傅里叶变换的分步迭代方法，优化设计 了该类衍射光学元件 (DOE)。DOE采用 了多台阶位相结构，设计所得 8台阶 DOE设计结果分别实现了偶极、四极、环形及Bulls—Eye等照明方式，其照明效率都达到了8O 以上，与 目标光强分布的 均方根偏差均7 。 关 键 词 ：衍射光学元件 ；投影光刻；分辨率增强 ；照明；光束整形 中图分类号 ：0436．1：TN305．7 文献标识码 ：A Designofdiffractiveopticalelementsforoff-axis illuminationinprojectionlithography ZHANG W ei，G0NG Yan (StateKeyLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanics andPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China) Abstract：Asavery importantResolutionEnhancementTechnology (RETs)，Off-axisIllumination (OAI)iswidelyappliedtoopticalprojectionlithographysystem．ApplicationofDiffractiveOptical Element(DOE)toOAInotonlycancotrolpreciselytheflexibleillumination shapeandtheintensity profilebutalsocanretainahigherefficiencyoflightsource．In thispaper，thefourkindsofDOEs with8phaselevelsweredesignedbyusingthestep—iterativealgorithm basedFouriertransfer，andthe fourelementscouldrealizedipole，quadrupole，annularandBulls—Eyeilluminationsrespectively．The simulationresu1tsshow thattheefficienciesofthelightsourcesareal1betterthan80 andtheRoot— M ean—Squares(RMSs)ofintensityprofilesareallsmallerthan7 ascomparedwiththatoftheideal One． Keywords：DiffractiveOpticalElement(DOE)；projectionlithography；resolutionenhancement；illu— urination；beam shaping 收稿 日期 ：2008—02—26；修订 日期 ：2008—04—03． 基金项 目：国家 自然科学基金资助项 目(No 光学 精密工程 第16卷 引 言