Na0.5Bi0.5(Mn,Ti)O3薄膜的制备与性能表征！.docVIP

摘 要 本实验采用化学溶液沉积法，在ITO/玻璃衬底上制备了Na0.5Bi0.5(MnxTi1-x)O3（x=0, 0.02, 0.05）三种薄膜。对晶体的结构、形貌、电容-电压和铁电性能进行了测试。结果表明，三种不同掺量的薄膜均为钙钛矿结构；但相比于Na0.5Bi0.5TiO3和Na0.5Bi0.5(Mn0.05Ti0.95)O3这两种薄膜，Na0.5Bi0.5(Mn0.02Ti0.98)O3薄膜的表面比较平整致密，具有典型狭长的蝶型曲线，暗示了具有较强的铁电性能。 另外，通过测量空气、氧气、氮气三种不同的气氛下，Na0.5Bi0.5(Mn0.02Ti0.98)O3薄膜的结晶性和电学性能。结果显示：三种不同的气氛下，Na0.5Bi0.5(Mn0.02Ti0.98)O3薄膜均为单一的钙钛矿结构；电滞回线结果表明，Na0.5Bi0.5(Mn0.02Ti0.98)O3薄膜在氧气气氛下的剩余极化强度最大，为23.10C/cm2；电压-电容的测试结果表明，在氧气气氛下的Na0.5Bi0.5(Mn0.02Ti0.98)O3薄膜的蝴蝶形状较好，且电容的变化率较大。 综上所述，氧气气氛下Na0.5Bi0.5(Mn0.02Ti0.98)O3薄膜具有较好的结晶性和铁电性能。 关键词：化学溶液沉积法；离子掺杂；钛酸铋钠；铁电性能；薄膜 ABSTRACT In this paper, we pre