扫描电子束曝光背散射电子检测与对准技术的研究.pdfVIP

摘要 本文通过对扫描电子束曝光机标记信号检测及对准技术的分析，提出了背散 射检测电路的设计方案和电路原理图，给出了实验结果；总结了电子束扫描场畸 变的种类，给出了线性畸变的自动校正软件的设计方案和流程图：介绍了非线性 畸变校正的方法。 由于背散射电子信号的图像既可以显示样品的形貌也可以显示样品的成分 所以选择背散射电子信号进行标记位置检测。检测器采用的是双半圆环形的半导 体检测器。背散射检测电路是由检测器、模拟信号处理电路、A／D转换器、数字 信号处理、计算机和控制单元组成的。为了提高电路的抗干扰能力，从电路原理 图设计到PCB板制作都采取了一些抑制噪声的措施，本文对此做了详细介绍。 总结了扫描场畸变的种类，以制作好的检测电路和现有的图形发生器为硬件 基础，设计了扫描场线性畸变的自动校正软件。该软件是在WindowsXP操作系 统中用C语言实现的。在程序中采用了许多技术手段，包括降噪处理、二值化、 数字增强技术等。 扫描场的非线性畸变种类较多，情况复杂，相应的校正方法也很多，可以作 为以后深入研究的方向之一。 文章最后讨论了课题的特点以及可能的发展方向。 【关键词】 电子束扫描曝光机，背散射电子检测电路，扫描场畸变。自动线性校正 in ion stration and RearehofMark—DetectRegi LithographicSystem Scanning——Electron。。Beam andPowerDrives) Li Electronics Chenfei(Power DirectedXue by Hong Abstract After themark of Lithographic analyzing signalScanning—’Electron—’Beam of detection theschemeandblockbackscatteredelectron System，itgives theresultofthe summarizes circuit．alsogives experiment．Thepaper how kindsofdistortionofe-beam the and many field，exhibitsproject the of aboutthelineardistorti— flowchartautomatic—correction program on．The distortionofe-beamfieldisalso correctionstonon-Iinear pres— structure ented．Becausethe ofbackscatteredelectroncouldreveal