非金刚石衬底生长金刚石薄膜中过渡层存在的机理研究.pdfVIP

。 V° I。 θ 1 第9卷 笫1期 高 压 物 理 学 报 ,N° PHYsICs Mar。 1995年 8月 cHINEsE JOU RNAL OF HIGH PREssU RE ,1995 非金刚石衬底生长金刚石薄膜 中 过渡层存在的机理研究 国 杨 伟 (湘汀大学物理系,湘洱 01110s) 毛 德 灰 (合肥工业大学应用物理系 ,合肥 zsO000〉 应 面 理论 ,研究 了非金刚石衬底低压气相生长金刚石莳膜 中的过渡层问 扪妥 用界 能 Ι 。 出了过渡层存在的理论机制 ,较好地解释 了一些关于过渡层研究的实验现象 。 题 提 关0词 衬底 界面 过渡层 成核 中国法分类号 o618·710.4 l引 宫 低压气相生长金刚石蒋膜系统 中,金刚石在非金刚石衬底表面的成核机理 ,目 前 尚 E:彐 。 金刚石/非 金刚石衬底表面的界面,是 否存在-层 以衬底材料碳化 不十分清楚 而关于 2彐 【 。 物为主要成份的过渡层 ,为 金刚石提供成核 区的闷题 ,更是令人因惑不解 因为有的实 验观察到过波层的存在 ,并 且发现它是金刚石在非金刚石衬底表面成核必不可少的成核 区E3D;而有 的实验却发现金刚石是可以在非金刚石衬底表面直按成核 ,无需过渡层的存 J彐 【 ,研 金 表面沉积的金刚石蒋膜是否存在过波层问题?如 果存在 ,它 。 此 刚石衬底 在 因 究非 的机理是什么?这些对于认识金刚石的成核机制 ,实现大面积单晶金刚石薄膜的异质外延 ,是 义 。 文从衬底材料对成核影响的角度 ,在理论上讨论 了过渡层问题 , 生长 非常有意 的 本 机理 ,并 且进 了 关的实验 提 出了非金刚石衬底表面生长金刚石蒋膜 中过渡层存在的 行 相 一 研究,解释 了 些实验现象 。 2理 论 、 亚 进 的。金刚石 低压气相生长金刚石蒋膜 ,是在石墨的稳定相 金刚石的 稳定相 中 行 I。 差2.OgkJmoIˉ 以通过非平衡反应,