多晶金薄膜电子-声子耦合的实验研究.pdfVIP

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2016-03-23 发布于安徽
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多晶金薄膜电子-声子耦合的实验研究.pdf

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第卷第期化工学报年月研究论文多晶金薄膜电子声子耦合马维刚王海东张兴王玮清华大学工程力学系热科学与动力工程教育部重点实验室北京北京大学微电子学研究院北京摘要随着电子器件和高频雷达等的尺寸减小工作频率提高及飞秒激光超快加工的广泛应用金属中的电子声子耦合都成为重要的影响因素对于尺寸效应会不会增强多晶金属薄膜的电子声子耦合仍然存在争议本文采用飞秒激光背面泵浦表面探测热反射方法对不同厚度金薄膜中的电子声子耦合过程进行了实验研究研究结果表明薄膜中的电子声子耦合和体材料基本相同并且不随薄膜厚度及晶粒尺寸发生变化通过对表面和晶界对电子声子耦合的机理分析发现在多晶薄膜中电子弛豫通过电子声子电子晶界及电子表面耦合实现但是电子与晶界及表面的耦合作用远比和声子的耦合弱因此多晶薄膜的电子声子耦合过程和体材料相近且不随薄膜厚度发生变化关键词电子声子耦合金薄膜泵浦探测热反射飞秒激光中图分类号文献标志码文章编号