微切削技术课件.ppt

目录 引言 种类划分 微切削技术 技术关键 微切削机理 引言 微机电系统最早是上世纪60年代对集成电路制造与材料研究而衍生出来的一门新领域，因此在最初发展时都是依照集成电路的套路标准来进行的。 随着微机电系统和微机械的多样化发展，传统上符合集成电路制造要求的材料有其局限性，对于拥有不同机械性能与电子特性微元件的需求也越来越迫切。 引言 然而对于微机电系统或微机械上的元件，并不能完全利用集成电路技术生产出来，因此新的微制造技术及微切削技术陆续被研究出来得以发展。 种类划分 微切削技术 微切削是一种快速且低成本的微小零件机械加工方式，而且不受材料的限制。 使用CNC加工中心可实现2D、2.5D到3D复杂曲面零件的微加工。 通过微切削技术加工出的微小模具可达到批量生产的目的。 技术关键 微切削加工技术的技术关键： 微切削装备 刀具 微切削装备 零件的尺寸和加工质量与其加工机床的性能密切相关。机床的性能主要与主轴、工作台和控制系统有关，微切削所用刀具的直径非常小，为了提高加工效率，微切削机床主轴的转速非常快。为满足扭矩要求，通常采用电主轴和混合角接触轴承，这种轴承由于摩擦生热造成热膨胀，转速一般不超过6万r/min。转速更高时，应采用空气轴承，但空气轴承提供的扭矩较小，目前最高转速可达20万r/min。 微切削装备 为了获得较高的切削速度，主轴的锥度与高速切削刀柄的锥度一致。微切削精密机床的工作台一般是由直线电机驱动的，与普通驱动如滚珠丝杠相比，直线电机驱动系统没有摩擦和电磁耦合产生的累积误差，也没有由于磨损造成的精度损失，不存在间隙，而且能提供较大的加速度，直线电机驱动系统的精度可达1μm。微切削精密机床的刚度好，振动小，但是由于其尺寸较大，对周围环境的控制要求较严格，使得加工微小零件的成本较高。 微切削装备 微小机床 体积小节约原材料 固有频率高，主轴转速范围宽 定位精度达到纳米尺度 能源消耗小 微切削装备 微切削刀具 微切削刀具的重点在于刀具材料的晶粒细化和刀具尺寸微小化 微切削单位切削面积上的切削力较大，产生很大的热量，使刀刃尖端温度升高，因此微切削对刀具材料的性能要求较高，需采用耐磨、耐热、高温硬度高、高温强度好的刀具材料，随着回转最小直径的微小化，要求回转刀具的抗弯强度、刚性与断裂韧性均应较高。 微切削刀具 微切削刀具材料为： 硬质合金（碳化钨） PCBN（立体氮化硼） 金刚石 微米级以下尺寸的铝合金等有色金属加工主要采用单晶金刚石刀具。 微切削刀具 微切削刀具 刀具的几何形状对于实现微切削加工至关重要 在微切削条件下，精确地切除极薄的材料需要极其锋利的切削刃。不仅如此，刃口锋利度还关系到切削表面质量、微观组织型貌以及晶格位错等。 微切削刀具 微钻头或微端铣刀材质硬度高、加工困难，常用的砂轮磨削方法加工效率低，而用聚焦离子束、线电极电火花磨削方法制作硬质合金微钻头或微立铣刀非常方便，容易满足精度要求。 目前市场上可见到的硬质合金微型钻头中，经过研磨的麻花钻最小直径为0.03mm。在实验室里采用电解磨削方式，可制作出0.005mm的极小直径钻头。 微切削机理 微切削的物理实质是切断材料分子、原子间的结合，实现原子或分子的去除，因而传统的以连续介质力学为基础的切削理论已不适于微切削。 采用应变梯度理论，可以预测出尺度效应和位错影响，获得与试验相吻合的结果，在微机械与微构件领域已成功分析了微米压痕、界面裂纹、细丝扭转等问题，并开始在微成型研究中得到应用。 微切削机理 微切削中会涉及以下诸多方面： 最小切削厚度 积屑瘤 切屑形态 刀具磨损 微切削力 刀具变形 切削温度 材料的微量加工性 表面粗糙度与切削稳定性 毛刺 微切削机理 最小切削厚度：能稳定切削的最小有效切削厚度。 切屑形态：普通切削相似，分为连续状切屑、非连续状切屑和伴随积屑瘤的切屑。 微切削力：切削力随切削深度的减小而增大，在切深很小时切削力急剧增大。 切削温度：由于微切削的切削用量较小，因此与传统切削相比，微切削的切削温度较低。 微切削机理 材料的微量加工性：影响因素包括被加工工件材料与刀具材料的亲合性、工件材料本身的晶体结构、位错、缺陷分布和热处理状态等。 刀具变形：如铣削加工中当刀具刚性不足时，在加工过程中会使加工精度变差。 表面粗糙度与切削稳定性：加工表面粗糙度由刀具和工件之间相对运动的精度及刀具刃口形状决定。 微切削机理 毛刺：毛刺的存在会影响零件的配合，降低工件的尺寸精度和表面质量。 积屑瘤：积屑瘤的产生受刀刃的微观缺陷、切削速度以及进给量的影响。在微切削时，切削速度越低积屑瘤越高，进给量越小积屑瘤也越高。 刀具磨损：两种失效形式为磨损和崩刃破损。 Page