Chapter2压力测量解析.pptVIP

弹性元件具有：弹性滞后和弹性后效的特性（P93） 弹性滞后：由于摩擦产生的加载曲线与卸载曲线不重 合产生。 弹性后效：弹性元件受载后在一定时间间隔内逐渐完 成变形的一种现象。 弹性元件常用的材料有铜合金、弹性合金、不锈钢等，各适用于不同的测压范围和被测介质。近来半导体硅材料得到了更多的应用。各种弹性元件组成了多种型式的弹性压力计，它们通过各种传动放大机构直接指示被测压力值。这类直读式测压仪表有弹簧管压力计、波纹管差压计、膜盒式压力计等。 (2) 弹簧管压力计 弹簧管式压力计是工业生产上应用很广泛的一种直读式测压仪表，以单圈弹簧管结构应用最多。其一般结构如图3-4所示。 被测压力由接口(接头9）引入，使弹簧管自由端（1）产生位移，通过拉杆（2）使扇形齿轮（3）逆时针偏转，并带动啮合的中心齿轮（5）转动，与中心齿轮同轴的指针将同时顺时针偏转， 图3-4 弹簧管压力计结构 1-弹簧管；2-连杆；3-扇形齿轮；4-底座； 5-中心齿轮；6-游丝；7-表盘；8-指针； 9-接头；10-横断面；11-灵敏度调整槽 弹簧管 截面为非圆形（椭圆形或扁圆形），并弯成圆弧状的空心管子 一端为封闭（自由端），一端为开口（固定端） 弹簧管压力表： 结构简单，使用方便，价格低廉，使用范围广，测量范围宽105～109Pa 可测负压、微压、低压、中压和高压 精度有0.5、1.0、1.5、2.5等 在面板的刻度标尺上指示出被测压力值。 通过调整螺钉可以改变拉杆与扇形齿轮的接合点位置，从而改变放大比，调整仪表的量程。 转动轴上装有游丝，用以消除两个齿轮啮合的间隙，减小仪表的变差。直接改变指针套在转动轴上的角度，就可以调整仪表的机械零点。 3.3.4 压阻式压力计 压阻元件是基于压阻效应工作的一种压力敏感元件，它指在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻（并非宏观的电阻），当它受外力作用时，其阻值由于电阻率的变化而改变。 扩散电阻正常工作需依附弹性元件，常用的是单晶体硅膜片。 单晶体硅膜片：如在N型单晶硅表面用氧化技术生成一层二氧化硅薄膜即构成～ 扩散电阻：在需要电阻的地方除去氧化膜，并有扩散技术向硅的深处扩散杂质硼，使之形成P型区，这些P型区形成压阻敏感元件为扩散电阻。 设有一段长为l，截面积为A，电阻率为ρ的导体(如金属丝)，它具有的电阻为 ??????? ??????? 当它受到轴向力F而被拉伸(或压缩)时，其l、A和ρ均发生变化，如图3-1所示，因而导体的电阻随之发生变化。通过对式(3-2)两边取对数后再作微分，即可求得其电阻相对变化 ?????? ??????????????????????????????????(3-2) ?(3-1) 图3.1 导体受拉伸后的参数变化 式中? ——材料的轴向线应变，常用单位με(1με=1×10-6mm/mm); 而:??? 其中: ? r——导体的半径，受拉时r缩小； μ——导体材料的泊松比。 代入式(3-2)可得:  ?? 定义：应变电阻纵向灵敏度为:  ????????????????????????????? ????????????????(3-8) 史密兹(C.S.Smith)等学者很早发现，锗、硅等单晶半导体材料具有压阻效应： ????? ??(2-6) 式中：? σ——作用于材料的轴向应力； π——半导体材料在受力方向的压阻系数； E——半导体材料的弹性模量。 将式(3-6)代入式(3-3)，并写成增量形式可得  ?? 式中 ——半导体材料的应变灵敏系数。 优点：体积小，结构简单，能直接反映微小的压力变化，动态响应好 缺点：敏感元件易受温度的影响，从而影响压阻系数的大小 压阻式压力计： 3.3.6 压力检测仪表的选择与校验 一、压力检测仪表的选择 1. 仪表量程的选择 被测压力较稳定：最大工作压力不应超过仪表满量程的3/4 被测压力波动较大或测脉动压力：最大工作压力不应超过仪表满量程的2/3 为保证测量准确度：最小工作压力不应低于满量程的1/3 优先满足最大工作压力条件 2. 仪表精度的选择 压力检测仪表的精度主要根据生产允许的最大误差来确定，即要求实际被测压力允许的最大绝对误差应小于仪表的基本误差。 3. 仪表类型的选择 从被测介质压力大小来考虑 被测介质的性质 对仪表输出信号的要求 使用的环境 二＃、压力仪表的校验 校验就是将被校验压力表和标准压力表通以相同压力，比较它们的指示数值，如果被校表对于标准表