电镜第一章.ppt

电子显微与X射线分析 第一章 电子光学原理 第二章 透射电镜 第三章 扫描电镜 第四章 电镜制样技术 第五章 电镜的应用 第六章 电镜图象处理 第七章 X射线分析 参考书： 朱-宣 《电子显微镜的原理和使用》 北大出版社 戈尔茨坦 《扫描电子纤维技术与x-ray显微分析》 科 学出版社 王世中 《电子显微术基础》 北京航空学院出版社 徐萃章 《电子探针分析原理》 科学出版社 周志朝 等 《无机材料显微结构分析》 浙江大学出版社 导言 1986年度诺贝尔物理学奖 透射电镜 E.Ruska 扫描隧道电镜 G.Binning，H.Rohner 1μm 到1～2?（光学显微镜2000 ?） 高压EM、分析EM、扫描透射EM、低温EM、环境扫描等成系列的综合性分析仪器 OM——光子 EM——电子 分辨率 扫描电子显微镜SEM 分辨率是能区分最小细节的能力 定义：Qi的圆盘中心落在Pi圆盘的圆周上时，圆两点间的距离Δφ为像方可以分辨的最小距离。 Δφ=0.61λ/ niθi*M ≈λ/2* M λi：像空间的波长，