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TCAD 仿真 刘钺杨 2011.04.13 主要内容 TCAD仿真软件简介 工艺仿真 器件仿真 IGBT设计实例 TCAD仿真软件简介 国际上常用的有四套工具: Tsuprem4/Medici （Avanti，被Synopsys收购） ISE TCAD-Dios/Mdraw/Dessis （ISE，被Synopsys收购） Sentaurus TCAD （Synopsys） Silvaco TCAD-Athena/Atlas（Silvaco） ISE TCAD 基本仿真流程 工艺仿真 DIOS 工艺仿真 Dios： 二维工艺模拟器 模拟完整的工艺制造流程 输入文件由一系列的命令所构成 自动添加网格 工艺仿真 工艺仿真过程： 结构初始化、网格定义 工艺步骤模拟 氧化 光刻 扩散 …… 保存输出文件 Title(IGBT, NewDiff=1,SiDiff=on) Grid (x=(0.0,18.0), y=(-10.0,0), nx=8) comment(sub) Substrate (orientation=100, element=P,conc=1.6e14, ysubs=0) re