课件扫描电镜.ppt

扫描电子显微镜  概念： 利用扫描式电子束和二次电子成像，显示样品表面结构的电镜。 “扫”:指用一定能量和电流密度的细聚焦电子束，以一定方式和速度在样品表面逐点移动，产生二次电子信号的过程。 “描”:指将产生的二次电子信号检测出来，经过电学处理以亮暗图像的形式进行观察和描记。 扫描电镜的基本结构 真空系统 电路系统 电子光学系统 扫描系统 二次电子检测系统 信号显示系统 扫描电镜的成像原理 扫描电镜是利用二次电 子成像，其反差是由样品中 二次电子产率决定的。 扫描电镜发展历史 扫描电镜(scanning electron microscope, SEM)作为商品出现则较晚，早在1935年，Knoll在设计透射电镜的同时，就提出了扫描电镜的原理及设计思想。1940年英国剑桥大学首次试制成功扫描电镜。但由于分辨率很差、照相时间过长,因此没有立即进入实用阶段，至1965年英国剑桥科学仪器有限公司开始生产商品扫描电镜。80年代后扫描电镜的制造技术和成像性能提高很快，目前高分辨型扫描电镜（如日立公司的S-5000型）使用冷场发射电子枪，分辨率已达0.6nm，放大率达80万倍。 电子显微镜发展历史 我国于70年代开始生产扫描电镜。国内主要生产电镜的厂家是:北京中科院科学仪器厂、上海新跃仪表厂、南京江南光学仪器厂等。近数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。 一．扫描电镜的特点 光学显微镜及透射电镜相比，扫描电镜具有以下特点： (一) 能够直接观察样品表面的形貌（三维立体图像） ，景深长，立体感强。 (二)样品室较大，可观察块状样品。样品的尺寸可达120mm×80mm×50mm。 (三) 样品制备过程简单，不用切成薄片。 (四) 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转，因此，可以从各种角度对样品进行观察。  一．扫描电镜的特点 (五) 图象的放大范围广，分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍，它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间，可达3nm。  SEM样品： ①表面要清洗干净 ②喷金要均匀 * (scanning electron microscope, SEM) 动物医学进展，2005，26（3）：90-91。 *