靶材成型工艺制粉及球磨工艺.pptVIP

Grinding medium研磨介质 选择研磨介质时不仅要象研磨容器那样考虑其材料和形状如球状、棒状等，还要考虑其密度以及尺寸的大小和分布等，球磨介质要有适当的密度和尺寸以便对研磨物料产生足够的冲击，这些对最终产物都有着直接的影响。 Ball-to-powder weight ratio球料比 球料比指的是研磨介质与研磨物料的重量比，通常研磨介质是球状的，故称球料比。 对粉料进行球磨时，球料比对球磨效率和某一特定物相出现的时间有显著影响，球料比越大，所需的时间越短。因为球料比增大，单位时间内磨球的碰撞概率增加，能把更多的能量传输给粉末，效率相应提高，产物形成更快。球料比增大，产生更多的热量，会改变粉末的组织。并且由于温度升高，会在球磨过程中形成非晶相甚至会发生晶化。球料比也不能太大，随着球与球之间碰撞几率增大，粉料中引入杂质的概率也增加。一般，磨球与粉料的球料比在5~10之间。但也随着加工原料的不同而有所区别。 试验研究用的球料比在1：1～200：1范围内，大多数情况下为15：1左右。当做小量生产或试验时，这一比例可高达50:1甚至100:1。 Extent of filling the vial填充率 研磨介质充填率指的是研磨介质的总体积占研磨容器的容积的百分率 ，研磨物料的充填率指的是研磨物料的松散容积占研磨介质之间空隙的百分率。若充填率过小，则会使生产率低下；若过高，则没有足够的空间使研磨介质和物料充分运动，以至于产生的冲击较小，而不利于合金化进程。一般来说,振动磨中研磨介质充填率在60%-80%之间 ，物料充填率在100%-130%之间。 Milling atmosphere研磨气氛 气氛的影响主要体现在空气对粉料的污染方面，通常粉料被密封在真空中或充满惰性气体的环境中进行球磨。最常用的保护气体为高纯氩气，用来防止粉末的氧化和污染。此外，气氛还会影响产物的物相，因此球磨时必须慎重选择球磨气氛。但有时为了特殊的目的，也需要在特殊的气体环境下研磨，例如当需要有相应的氮化物或氢化物生成时，可能会在氮气或氢气环境下进行研磨。 Process control agents过程控制剂（助磨剂） 在晶粒细化的过程中整个系统的比表面能很高，粉末会聚集和粘附在磨球表面及球磨罐壁上，这是一种系统自由能降低的过程。磨球表面一旦粘附上粉末粒子势必影响磨球能量向粉末的传递，从而影响效率，所以往往向球磨机中加入过程控制剂，而且过程控制剂还会对产物粉末的形态、反应过程和出粉率产生影响。 不同的球磨过程，对球磨控制剂的要求不同。过程控制剂的选择取决于初始粉料的性质和最终产物的纯度要求，选用的过程控制剂的性质和数量往往会决定最终产物的尺寸和数量。 Temperature of milling研磨温度 温度是球磨过程中另一具有重要影响的因素，因为它可以控制粉体最后的组织结构。无论最终产物是固溶体、金属间混合物、纳米晶还是非晶，由于其形成过程中均存在扩散，所以球磨过程中的温度对任何体系都有重大的影响。 让不可能成为可能 Making the IMPOSSIBLE possible 靶材成型工艺 粉体及球磨工艺 陶瓷靶材一般工艺涉及学科 粉末冶金学 机械合金化 湿磨、助磨剂 粉末冶金 粉末冶金是用金属粉末（或金属粉末与非金属粉末的混合物）作为原料，经过成形和烧结制造金属材料、复合材料以及各种类型制品的工艺过程。粉末冶金法与生产陶瓷有相似的地方，因此也叫金属陶瓷法。 粉末冶金工艺 粉末冶金工艺的第一步是制取金属粉末、合金粉末、金属化合物粉末以及包覆粉末，第二步是将原料粉末通过成形、烧结以及烧结后的处理制得成品。 原料粉末的制备 现有的制粉方法大体可分为两类：物理方法法和化学方法。 物理方法：粉碎法及构筑法； 粉碎法是借用各种外力，如机械力、流能力、化学能、声能、热能等使现有的块状物料粉碎成超细粉体。由大至小（微米级）。 构筑法通过物质的物理状态变化来生成粉体。由小至大（纳米级） 化学方法：包括溶液反应法（沉淀法）、水解法、气相反应法及喷雾法等，其中，溶液反应法（沉淀法）、气相反应法及喷雾法目前在工业上已大规模用来制备微米、亚微米及纳米材料。 目前，工业中用得最多的是通过粉碎法，应用最多的粉体是通过粉碎法、化学法产生的微米级和亚微米级粉体，纳米粉体的生产及使用量相对较少。 粉体制备方法 制备方法 物理方法 化学方法 粉碎法 构筑法 干式粉碎 湿式粉碎 气体蒸发法 真空沉积法 溅射法 活化氢熔融金属反应法 加热蒸发法 混合等离子体法 喷雾法 水解法 沉淀法 氧化还原法 喷雾水解法 喷雾焙烧法 喷雾干燥法 共沉淀法 化合物沉淀法 冻结干燥