2010真空的获得和测量_实验报告.docVIP

真空的获得与测量 摘要 真空技术主要包括真空获得、测量及检漏。对于不同的真空范围，分别采用不同的仪器设备。本实验用机械泵与扩散泵串联而成的高真空机组来获得真空，由复合真空计测量被抽容器所能达到的真空度。高频火花探漏器可用以判断非金属部件是否漏气，并可粗略地估计一定的真空范围。 关键字 真空的获得 真空的测量 真空检漏 实验原理 一、真空的获得 利用机械泵的机械旋转产生吸气和排气过程，以获得真空。常用的是旋片式机械泵，它由定子、转子、旋片、弹簧等组成。旋片式机械泵是一种油封式机械真空泵。其工作压强最低能够达到10-1 ，属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。其主要结构见下图： 油扩散泵能比机械泵获得更高的真空度，它的工作压力范围是10-1 ~ 10-6Pa，起始压强正好是机械泵的极限压强。因此油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵，将真空度抽到10-1Pa后才能打开油扩散泵。 油扩散泵是利用气体的扩散性质制作的，油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成。当油扩散泵用前级泵预抽到低于1Pa真空时,油锅可开始加热。沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸汽分子碰撞。气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动到前级，油蒸气被冷凝释出气体分子，即被前级泵抽走而达到抽气目的。 由于机械泵工作时由电动机动力维持抽气口和排气口的压强差，一旦停止工作，排气口的大气压将把真空泵油压到定子腔中，造成返油事故。因此，机械泵停止工作后必须使抽气口与大气相通，使泵的进气口和排气口气压平横。 二、真空的测量 对于真空度的测量以及检测常用真空计。真空计包括两个热偶真空计和一个电离真空计。 热偶真空计的原理是利用在低气压下气体的热导率与气体压强间有依赖关系（参见下页原理图）。因此，如果把一段金属丝封入导管中，接入真空系统。并通过一定的电流使金属丝加热，则金属丝的温度取决于输入功率与散热的平衡关系。当输入功率一定时，丝温与气体的热导率有关。只要用某种方法测出丝温变化,即可经校准而读出压强。 热阴极电离真空计（参见下页原理图）通常用来测量高真空。热阴极灯丝A通电加热后发射热电子，栅状阳极B带有较高的正电压。热电子被阳极B电压加速，并为阳极收集。因为阳极为栅状，所以将有一些电子穿过阳极，这些电子在带有负电子的板状收集极C的作用下又返回阳极，并在空间来回振荡，最后为阳极的正离子被收集极C所收集，形成一定的离子流Ii。 电离规管原理图 C－极状收集极 F-热阴极灯丝 G－栅状阳极 热电偶规管原理图 CD－铂丝 AB－热电偶丝 mA－毫安表 mV－毫伏表 三、实验方案 以XK-200型真空系统为例： 1、开机械泵，将三通阀向里推至死点 2、开启真空计测量前级低真空，开机预热一定的时间后，将“加热—测量”开关置于“测量”位置（有两个测量档，先置于其中任意一档）。再对对储气瓶进行抽气，观察热偶真空计的读数，若真空度增加，表明当前测量档测量的是储气瓶的真空度。若真空度变化不大，表明当前测量的是真空室的真空度。通过这个步骤，可以确定热偶计的两个“测量”档分别对应哪个区域的真空； 3、接通冷却水及油扩散泵加热器，当油扩散泵预热40分钟后即可正常工作 4、当储气瓶的真空度达到6.7帕以上时，将三通阀向外拉到底，开始对真空室预抽。真空计换挡测量真空室中的真空度，使其压力小于6.7帕。 5、加热完毕后，打开高真空蝶阀，同时将三通阀推至里面死点。此时油扩散泵与机械泵同时处于工作状态，观察热偶计的读数。当低真空测量等于或小于0.13帕时，转至高真空测量，直至机组达到极限真空度（10-1Pa）为止。 6、打开灯丝，电离计接通，开始进行高真空度测量。一开始，每隔15秒记录一次数据；随着时间的增加，真空度变化越来越慢，可以适当延长两次数据记录的时间间隔。 7、当真空度不再变化，停止高真空测量。先关闭灯丝，再关闭高真空蝶阀，停止对油扩散泵加热。 8、等到油扩散泵冷却至室温后，关闭机械泵和冷却水，切断电源。 七、数据处理 八、实验结论 1、根据机械泵对真空室的抽气情况曲线可知，刚开始压强下降较快，等到一定程度后较平缓，符合实际情况。但由于刚开始测量时间间隔为5s，读数时，延迟误差较大，不太精确。 2、根据油扩散泵抽气情况曲线可知，其压强下降也是先快后缓慢。但由于刚开始曲线下降明显，会有来不及测得情况。而且在测量中需要换量程，里面有较大误差。 九、注意事项 1、在开油扩散泵之前，必须确定冷却水已经接通，并且在实验过程中，必须时刻保持警惕，确保每个时刻冷却水都畅通无阻并保持一定的流量。油扩散泵在使用结束后，冷却水不能马上关闭，应该再通二十分钟以上的冷却水