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2014超导纳米线单光子探测器的研究新进展.pdf
( )
南京大学学报 自然科学
第 卷 第 期 ,
50 3 Vol.50 No.3
JOURNALOFNANJINGUNIVERSITY
年 月 ,
2014 5 Ma 2014
y
( )
NATURALSCIENCES
: /
DOI10.13232 .cnki.nu.2014.03.002
j jj
超导纳米线单光子探测器研究新进展
*
, , ,
张蜡宝 康 琳 陈 健 吴培亨
( , , )
南京大学超导电子学研究所 南京 210093
: , 、
摘 要 现代科学技术已经发展到利用单个光子的量子态载运信息和进行计算 因此 高效 灵敏地探测单个光子
.
、 、 ( )
是量子计量 量子通信 非线性光学等量子信息科学研究中最基础的技术之一 超导纳米线单光子探测器
. SNSPD
, 、 、 ,
是一种新型单光子检测器 具有暗计数低 探测速率高 检测频谱宽等优点 在众多领域存在潜在应用 本文概述了
.
, ,
超导单光子探测器的工作机制和理论模型 重点介绍了兼容 4inch硅工艺的SNSPD器件的关键技术工艺 如器件
、 、 , ,
设计 材料结构 制备工艺和封装技术等 研制的超导单光子探测器 在 波段 系统的单光子检测效率最高
. 1550nm
, , ,
达到 暗计数小于 与国际最好水平相当 在不断提高 性能研究的同时 还开展了利用
75% 100cs .
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