光学系统设计资料.ppt

5. 空气折射率修正 对于某些要求更高测量精度的场合，还需要对引起测量误差的环境 因素（如：空气折射率、温度、大气压等）进行修正。由于当空气折射 率发生变化时，激光的波长值也随之发生变化，因此，应精确测定干涉 仪工作环境的空气折射率，以进行对测量值的修正。修正时可先对测量 环境下的空气温度、大气压、温度进行测量，然后进行计算修正。常用 的修正公式有艾伦给出的经验计算公式。 6. 光学退耦和非期望光的抑制 为了消除激光光束“回绶”现象的干扰，使激光器工作稳定，就要防止光束返回激光器，此过程一般称为“光学退耦”。在此仪器中采用角锥棱镜的光束偏离法，参见图6-3a。 在干涉仪中光学零件的各个界面上光线都会发生反射和折射，这些光线通过各种路径进入干涉场，不反映被测信息的光线称为非期望光线或杂光。设计时必须设法抑制或消除非期望光线，可采用如下措施： 1）设计时尽可能减少干涉系统中光学零件的数量，以减少产生非期望光线的机会。同时在非期望的反射界面上镀以增透膜，镜筒、镜框内表面要发黑处理，以减少非期望光线的强度。 2）采用平行平板作为分光器时常常产生非期望光线，见图6-62。 3）在光路中适当地方放置一个针孔光阑，可以挡去大部分非期望光线，而期望光线能照常通过。如图6-55中的光阑3。 4）光学零件表面的尘埃会产生衍射花样，在激光束很细的地方尤为严重，必须做好清洁工作。同时，对光学材料的气泡、麻点等质量指标均应适当提高。 图6-62 平行平板产生的非期望光线 7. 正确选择光电器件 选择光电器件时应考虑它的响应度，要注意尽量工作在光电器件的光 电特性线性区，减小非线性误差；还应考虑光电器件的光谱特性与光源 的光谱匹配，即应有最大的光谱响应度；在探测动态光信号时应注意光 电器件的频响特性，要满足动态信号的动态特性要求等。在激光干涉系 统中常用的光电器件有PIN管、光电二极管、光电池和光电倍增管等。在 该仪器中选用噪声小频响较高的PIN管。 根据正弦条件和显微镜放大率公式 * 二、干涉条纹光强检测法及其设计 在干涉场中确定的位置上用光电器件直接检测干涉条纹的光强变化 称为条纹光强检测法。图6-45给出了一维干涉测长的实例。 由式（6-78）可知，单频光相干时，合成信号的瞬时光强为： 用 的平均值 等效表示这一积分值，得： （6－84） 比例因子 称为两光束的相干度，上式中 （6－85） 若 随时间表变化，则合成光强是对 的积分： 图6-45 条纹光强检测 a）原理示意图 b）波形图 式(6-85)表明， 越大，光强随相位的变化越明显，因此相干度 是衡 量干涉条纹光强对比度的重要指标。在进行干涉条纹光强检测系统设计 时应设法提高相干度。 上式表明光程差（测量范围） 越小，光源的单色性越好（ 小），值越大。式中的 是相干长度，当 等于相干长度时，干涉条纹消失。因此在做干涉条纹光强检测系统设计时，应尽量使其测量范围远小于相干长度。即选择相干性好的光源，测量范围又不必过大。 1．光的单色性和测量范围对相干度的影响 相干光源波长的非单色性 （波长变动范围）会引起不同波长不同初相位的叠加，从而会降低相干度。若入射光的波长为 ， 则相干度为： （6－86） 2．光源的光束发散角影响 对于光干涉测量系统除了要求光源的单色性好以外，还要求平行光照 明，否则引起相位变化。对于平行平板干涉的情况，入射光束若有发散角 变化，而入射光不垂直反射镜的偏角为 时（见图6-46），可以算出由 此引起的相干度 为 这表明由于 和 会引起空间每条相干光线的光程差不同，而使对比度下降。因此在设计时应采用好的平行光照明。且光线应垂直于反射镜入射。 图6-46 入射光束平行度的影响 3．光电检测器的接收孔径光阑的影响 光电信号的质量不仅取决于干涉条纹的相干度，而且取决于接收器光 阑和条纹宽度之间的比例关系。图6-47中，条纹光强空间分布为: 在任一位置 处，光电检测器的输出 为： 由此，对于不同位置 ，光电检测器的输出： 混频效率 或光阑宽度与条纹宽度之比 直接影响电信号的幅值，可使干涉区域充分占据接收光阑，通过加大条纹宽度来增大 值。 图6-47 干涉条纹与接收光阑的关系 4．合理选择透射与反射比，获得等光强干涉 相干涉两路光的波振幅 相等时，条纹对比度为1，即得到最好的条 纹对比度，使信噪比大为增加。获得等光强干